[实用新型]一种预紧力可调寄生惯性运动式精密压电驱动器

权利要求书

1.一种预紧力可调寄生惯性运动式精密压电驱动器，其特征在于：包括精密预紧力调整单元、压电叠堆驱动器单元、直线运动单元；其中，精密预紧力调整平台通过螺钉固定在基座(1)上，压电叠堆驱动器单元通过螺钉安装在垫块(2)上，直线运动单元通过螺钉连接，安装在基座(1)上。

2.根据权利要求1所述的一种预紧力可调寄生惯性运动式精密压电驱动器，其特征在于：所述的精密预紧力调整单元，由分厘卡调整手柄(5)、线性滚珠导轨(3)、平移台(4)组成；所述的分厘卡调整手柄(5)通过螺纹副与线性滚珠导轨(3)相连；所述的线性滚珠导轨(3)通过螺纹副与平移台(4)相配合，可带动平移台(4)沿着水平方向平稳运动；所述的平移台(4)通过螺钉锁紧安装在线性滚珠导轨(3)的顶面；精密预紧力调整单元通过调节分厘卡调整手柄(5)，驱使平移台(4)平稳运动实现对预紧力的微调作用。

3.根据权利要求1所述的一种预紧力可调寄生惯性运动式精密压电驱动器，其特征在于：所述的压电叠堆驱动器单元由直角柔性铰链(6)、压电叠堆I(7)、直圆柔性铰链(8)、压电叠堆II(9)组成，其中所述的直角柔性铰链(6)和直圆柔性铰链(8)均为对称结构，通过螺钉固定在垫块(2)上；所述的压电叠堆I(7)和压电叠II(9)分别嵌入安装在直角柔性铰链(6)和直圆柔性铰链(8)内，并通过薄铜片预紧，当压电叠堆II(9)通电伸长时，直圆柔性铰链(8)发生变形，产生沿着直圆柔性铰链(8)中心对称轴方向的寄生运动，同时当压电叠堆I(7)通电伸长时，直角柔性铰链(6)发生变形，拉动直圆柔性铰链(8)和压电叠堆II(9)一起沿着对称轴方向移动，实现对单铰链寄生运动输出位移的放大功能，通过对压电叠堆I(7)和压电叠II(9)驱动信号和两路信号的时序控制，实现大位移、高响应频率、高速度的输出。

4.根据权利要求1所述的一种预紧力可调寄生惯性运动式精密压电驱动器，其特征在于：所述的直线运动单元由直线导轨(13)和与之对应的导轨滑块(12)、摩擦块(10)、反光块(11)组成，其中所述的直线导轨(13)通过螺钉固定在基座(1)上；所述的导轨滑块(12)通过螺钉固定在直线导轨(13)上，可带动摩擦块(10)移动；所述的摩擦块(10)通过螺钉和导轨滑块(12)相连，通过压电驱动器单元对其产生的侧向摩擦力，沿着直线导轨(13)运动；所述的反光块(11)上粘有平面镜，便于激光位移传感器(14)接受反射光线并对其运动效果进行实时监测，反光块(11)通过螺钉固定在摩擦块(10)上，随着摩擦块(10)一起沿着直线导轨(13)水平移动。