[实用新型]一种非接触式曝光机菲林安装治具有效
申请号: | 201720057430.6 | 申请日: | 2017-01-18 |
公开(公告)号: | CN206573850U | 公开(公告)日: | 2017-10-20 |
发明(设计)人: | 高延林;孙彬;王世杰 | 申请(专利权)人: | 山东蓝色电子科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 东营双桥专利代理有限责任公司37107 | 代理人: | 罗文远 |
地址: | 257091 山东省东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种非接触式曝光机菲林安装治具,包括透明玻璃和玻璃菲林,所述玻璃菲林设置于透明玻璃侧,所述玻璃菲林与透明玻璃通过光学胶连接,所述玻璃菲林内侧顶部一侧以及内侧底部一侧均设有吸气槽,所述吸气槽外部设有真空吸嘴,所述吸气槽一侧设有真空槽,所述玻璃菲林外周设有曝光菲林,所述曝光菲林外周设有透明胶带,所述透明胶带粘贴固定曝光菲林与透明玻璃,本实用新型更改后的流程为菲林底片设备安装时可以与台面完全密合,避免造成局部会鼓起,避免非接触式曝光机曝光时会出现光线散射形成线路成型不完整,其制程能力有较大提高,曝光解析不良有很大改善,此实用新型成本低廉,操作简单。 | ||
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【主权项】:
一种非接触式曝光机菲林安装治具,包括透明玻璃(1)和玻璃菲林(4),其特征在于,所述玻璃菲林(4)设置于透明玻璃(1)侧,所述玻璃菲林(4)与透明玻璃(1)通过光学胶连接,所述玻璃菲林(4)内侧顶部一侧以及内侧底部一侧均设有吸气槽(5),所述吸气槽(5)外部设有真空吸嘴(6),所述吸气槽(5)一侧设有真空槽(7),所述玻璃菲林(4)外周设有曝光菲林(3),所述曝光菲林(3)外周设有透明胶带(2),所述透明胶带(2)粘贴固定曝光菲林(3)与透明玻璃(1)。
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