[实用新型]一种非接触式曝光机菲林安装治具有效
申请号: | 201720057430.6 | 申请日: | 2017-01-18 |
公开(公告)号: | CN206573850U | 公开(公告)日: | 2017-10-20 |
发明(设计)人: | 高延林;孙彬;王世杰 | 申请(专利权)人: | 山东蓝色电子科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 东营双桥专利代理有限责任公司37107 | 代理人: | 罗文远 |
地址: | 257091 山东省东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 接触 曝光 机菲林 安装 | ||
技术领域
本实用新型涉及曝光机菲林安装设备领域,特别涉及一种非接触式曝光机菲林安装治具。
背景技术
众所周知,目前业界曝光制程底片流程为:
菲林底片裁边——菲林底片&玻璃清洁——对位—菲林吸真空——胶带固定——菲林底片清洁——菲林底片上机台——吸真空——曝光;
其缺点在于,菲林底片设备安装时未与台面完全密合,造成局部会鼓起,非接触式曝光机曝光时会出现光线散射形成线路成型不完整,因此,发明一种非接触式曝光机菲林安装治具来解决上述问题很有必要。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种非接触式曝光机菲林安装治具,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种非接触式曝光机菲林安装治具,包括透明玻璃和玻璃菲林,所述玻璃菲林设置于透明玻璃侧,所述玻璃菲林与透明玻璃通过光学胶连接,所述玻璃菲林内侧顶部一侧以及内侧底部一侧均设有吸气槽,所述吸气槽外部设有真空吸嘴,所述吸气槽一侧设有真空槽,所述玻璃菲林外周设有曝光菲林,所述曝光菲林外周设有透明胶带,所述透明胶带粘贴固定曝光菲林与透明玻璃。
优选的,所述透明胶带设置为OPP胶带。
优选的,所述透明胶带宽度设置为2cm-3cm。
优选的,所述真空吸嘴设置为市售型号HB的硅胶真空吸嘴。
本实用新型的技术效果和优点:菲林底片设备安装时可以与台面完全密合,避免造成局部会鼓起,避免非接触式曝光机曝光时会出现光线散射形成线路成型不完整,其制程能力有较大提高,曝光解析不良有很大改善,此实用新型成本低廉,操作简单。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图;
图2为本实用新型的真空吸嘴结构示意图;
图中:1-透明玻璃 、2-透明胶带 、 3-曝光菲林 、 4-玻璃菲林、 5-吸气槽、6-真空吸嘴、7-真空槽。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型提供了如图1-2所示的一种非接触式曝光机菲林安装治具,包括透明玻璃1和玻璃菲林4,所述玻璃菲林4设置于透明玻璃1侧,所述玻璃菲林4与透明玻璃1通过光学胶连接,所述玻璃菲林4内侧顶部一侧以及内侧底部一侧均设有吸气槽5,所述吸气槽5外部设有真空吸嘴6,所述吸气槽5一侧设有真空槽7,所述玻璃菲林4外周设有曝光菲林3,所述曝光菲林3外周设有透明胶带2,所述透明胶带2粘贴固定曝光菲林3与透明玻璃1。
所述透明胶带2设置为OPP胶带,所述透明胶带2宽度设置为2cm-3cm,有利于使粘贴效果更好,所述真空吸嘴6设置为市售型号HB63的硅胶真空吸嘴,使吸合效果更好。
本实用工作原理:使用时,更改后的流程为:
菲林底片裁边——菲林底片&玻璃清洁——对位—菲林吸真空——胶带固定——菲林底片清洁——菲林底片上机台——吸真空——曝光,流程优化后的制程能力有较大提高,曝光解析不良有很大改善。
最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
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