[实用新型]无墨点晶圆外观检查系统

摘要

本实用新型涉及一种无墨点晶圆外观检查系统，该系统包括读取装置、移动载台、影像撷取装置、显示装置、控制装置以及游标装置，该读取装置读取晶圆上的序号，由计算机数据库输出晶圆映射图；该移动载台供放置晶圆并能调整其水平位置；该影像撷取装置拍摄该晶圆；该控制装置与该读取装置、该移动载台、该影像撷取装置、该显示装置及该游标装置相连接，该控制装置接收该晶圆映射图，由该显示装置显示该晶圆映射图及晶圆影像；该游标装置该显示装置上点选瑕疵晶粒位置，经该控制装置同步更新记录，且于该晶圆映射图中显出该瑕疵晶粒位置，藉此导入无墨点的检查程序，且提升目测效率及检查质量。

主权项

一种无墨点晶圆外观检查系统，包括：一读取装置，读取晶圆上的序号，由计算机数据库输出晶圆映射图；一移动载台，供放置晶圆并能调整其水平位置；一影像撷取装置，拍摄该晶圆；一显示装置；一控制装置，与该读取装置、该移动载台、该影像撷取装置及该显示装置相连接，该控制装置接收该晶圆映射图，由该显示装置显示该晶圆映射图及该晶圆的晶圆影像；一游标装置，与该控制装置相连接，该游标装置由该显示装置上点选瑕疵晶粒位置，由该控制装置同步更新记录且于该晶圆映射图中显出该瑕疵晶粒位置。