[实用新型]一种调整治具有效
申请号: | 201720031227.1 | 申请日: | 2017-01-11 |
公开(公告)号: | CN206400168U | 公开(公告)日: | 2017-08-11 |
发明(设计)人: | 李辉;王明泽;容劲文;柳彦龙 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G02B7/00 | 分类号: | G02B7/00 |
代理公司: | 上海光华专利事务所31219 | 代理人: | 王华英 |
地址: | 100176 北京市大兴*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供一种调整治具,用于调整光学路径中激光器的位置,所述调整治具与固定激光器的L形支架配合使用,所述调整治具包括安装架和楔形件,楔形件包括相对设置的固定楔形件和活动楔形件,固定楔形件安装于安装架的一端;活动楔形件安装于安装架的另一端,且活动楔形件通过一驱动机构的驱动可向固定楔形件水平移动,从而实现激光器的高度位置的调整;调整治具还包括驱动所述调整治具相对于L形支架水平移动的驱动件,从而实现激光器的前后位置的调整。本实用新型的调整治具可以方便地对激光器进行上下、前后位置的调节;可以准确地调整光学路径,比手动调节方便且精度高;同时可以节约更换激光器的时间。 | ||
搜索关键词: | 一种 调整 | ||
【主权项】:
一种调整治具,用于调整光学路径中激光器的位置,所述调整治具与固定所述激光器的L形支架配合使用,所述L形支架的底部向外水平延长形成两个安装凸块,其特征在于,所述调整治具包括:安装架;楔形件,所述楔形件包括相对设置的固定楔形件和活动楔形件,所述固定楔形件安装于所述安装架的一端;所述活动楔形件安装于所述安装架的另一端,且所述活动楔形件通过一驱动机构的驱动可向所述固定楔形件水平移动。
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