[实用新型]一种调整治具有效
申请号: | 201720031227.1 | 申请日: | 2017-01-11 |
公开(公告)号: | CN206400168U | 公开(公告)日: | 2017-08-11 |
发明(设计)人: | 李辉;王明泽;容劲文;柳彦龙 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G02B7/00 | 分类号: | G02B7/00 |
代理公司: | 上海光华专利事务所31219 | 代理人: | 王华英 |
地址: | 100176 北京市大兴*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 调整 | ||
1.一种调整治具,用于调整光学路径中激光器的位置,所述调整治具与固定所述激光器的L形支架配合使用,所述L形支架的底部向外水平延长形成两个安装凸块,其特征在于,所述调整治具包括:
安装架;
楔形件,所述楔形件包括相对设置的固定楔形件和活动楔形件,所述固定楔形件安装于所述安装架的一端;所述活动楔形件安装于所述安装架的另一端,且所述活动楔形件通过一驱动机构的驱动可向所述固定楔形件水平移动。
2.根据权利要求1所述的调整治具,其特征在于,所述驱动机构包括两组螺杆和螺母,所述活动楔形件上设有内螺纹沉孔,所述内螺纹沉孔与所述螺杆的外螺纹相适配,所述螺杆的一端穿进所述内螺纹沉孔内,所述螺杆的另一端贯穿所述安装架并通过所述螺母固定。
3.根据权利要求2所述的调整治具,其特征在于,所述安装架包括底板和分别垂直安装于所述底板两端的左侧板和右侧板,且所述左侧板的中部设有贯通槽一,所述底板的中部设有贯通槽二。
4.根据权利要求3所述的调整治具,其特征在于,所述贯通槽一的大小与所述安装凸块的大小相适配。
5.根据权利要求3所述的调整治具,其特征在于,所述固定楔形件固定安装于所述左侧板的上部,所述活动楔形件通过所述驱动机构安装于所述右侧板的内侧,且所述固定楔形件和所述活动楔形件的安装位置处于同一水平线上。
6.根据权利要求3所述的调整治具,其特征在于,还包括驱动所述调整治具相对于所述L形支架水平移动的驱动件,所述驱动件包括两颗驱动螺丝,所述驱动螺丝位于所述活动楔形件下方的所述右侧板上,且所述驱动螺丝的自由端由右向左贯穿所述右侧板。
7.根据权利要求3所述的调整治具,其特征在于,还包括夹紧所述调整治具与所述L形支架的两颗固定螺丝,所述固定螺丝的自由端由下至上贯穿所述左侧板的底部。
8.根据权利要求1-7任一项所述的调整治具,其特征在于,所述调整治具设有两个,两个所述调整治具分别安装于两个所述安装凸块上。
9.根据权利要求1-7任一项所述的调整治具,其特征在于,所述L形支架的右侧面通过螺钉与所述激光器的侧面固定连接。
10.根据权利要求3-7任一项所述的调整治具,其特征在于,所述调整治具通过螺钉与所述激光器连接,所述螺钉依次贯穿所述安装凸块和所述贯通槽二并与所述激光器的底面固定连接。
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