[实用新型]一种箱式真空镀膜机的抽气充气系统有效
| 申请号： | 201720019416.7 | 申请日： | 2017-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN206408290U | 公开（公告）日： | 2017-08-15 |
| 发明（设计）人： | 李辉华;张慧;聂波;何易;张平;李小梅 | 申请（专利权）人： | 中山市优度光学科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 中山市高端专利代理事务所(特殊普通合伙)44346 | 代理人： | 钟作亮 |
| 地址： | 528400 广东省中山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种箱式真空镀膜机的抽气充气系统，包括无尘房，所述无尘房内设置有箱式真空镀膜机；所述箱式真空镀膜机顶部设在无尘房外，所述箱式真空镀膜机除顶部外的其余部位设在无尘房内；所述箱式真空镀膜机内设有真空室，所述箱式真空镀膜机一侧设有与真空室连通的抽气系统，所述箱式真空镀膜机顶部设有与真空室连通的充气系统，所述充气系统包括充气管道，所述充气管道末端的充气口设在无尘房内，所述充气管道内还设有过滤层。本实用新型能有效防止灰尘带入真空室，保证了镜片的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 箱式 真空镀膜 充气 系统 | ||
【主权项】：
一种箱式真空镀膜机的抽气充气系统，其特征在于包括无尘房(1)，所述无尘房(1)内设置有箱式真空镀膜机(2)；所述箱式真空镀膜机(2)顶部设在无尘房(1)外，所述箱式真空镀膜机(2)除顶部外的其余部位设在无尘房(1)内；所述箱式真空镀膜机(2)内设有真空室(3)，所述箱式真空镀膜机(2)一侧设有与真空室(3)连通的抽气系统(4)，所述箱式真空镀膜机(2)顶部设有与真空室(3)连通的充气系统(5)，所述充气系统(5)包括充气管道(6)，所述充气管道(6)末端的充气口设在无尘房(1)内，所述充气管道(6)内还设有过滤层(7)。
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