[实用新型]一种箱式真空镀膜机的抽气充气系统有效
| 申请号: | 201720019416.7 | 申请日: | 2017-01-06 |
| 公开(公告)号: | CN206408290U | 公开(公告)日: | 2017-08-15 |
| 发明(设计)人: | 李辉华;张慧;聂波;何易;张平;李小梅 | 申请(专利权)人: | 中山市优度光学科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56 |
| 代理公司: | 中山市高端专利代理事务所(特殊普通合伙)44346 | 代理人: | 钟作亮 |
| 地址: | 528400 广东省中山市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 箱式 真空镀膜 充气 系统 | ||
技术领域
本实用新型涉及镜片镀膜领域,尤其涉及一种箱式真空镀膜机的抽气吸气系统。
背景技术
镜片镀膜通常用到真空镀膜机,真空镀膜机工作时,需要先抽真空,使真空室处于真空状态,再进行镀膜;镀膜完成后,需要向真空室充气。现有技术中,真空镀膜机的充气管道直接与外界连通,容易把外界空气中的灰尘带入真空室,导致镜片上吸附灰尘,造成产品不良。
实用新型内容
针对现有技术的不足,本实用新型所要解决的技术问题是如何避免箱式真空镀膜机充气时灰尘带入真空室。
为解决上述技术问题,本实用新型所采用的技术方案是:
提供一种箱式真空镀膜机的抽气充气系统,包括无尘房,所述无尘房内设置有箱式真空镀膜机;所述箱式真空镀膜机顶部设在无尘房外,所述箱式真空镀膜机除顶部外的其余部位设在无尘房内;所述箱式真空镀膜机内设有真空室,所述箱式真空镀膜机一侧设有与真空室连通的抽气系统,所述箱式真空镀膜机顶部设有与真空室连通的充气系统,所述充气系统包括充气管道,所述充气管道末端的充气口设在无尘房内,所述充气管道内还设有过滤层。
优选地,所述抽气系统包括抽气管道,所述抽气管道内设有过滤层。所述过滤层用于收集真空室内的灰尘,防止被带入无尘房。
优选地,所述充气系统包括3个间隔均匀地设置在箱式真空镀膜机顶部的充气管道。所述充气管道均匀分布,有利于往真空室均匀地充气。
本实用新型能够取得以下有益效果:
本实用新型的充气管道末端设在无尘室内,不与外界连通,且充气管道内设有过滤层,能有效防止灰尘带入真空室,保证了镜片的质量。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式:
以下将结合附图对本实用新型作进一步的说明:
如图1所示的一种箱式真空镀膜机的抽气充气系统,包括无尘房1,所述无尘房1内设置有箱式真空镀膜机2。所述箱式真空镀膜机2顶部设在无尘房1外,所述箱式真空镀膜机2除顶部外的其余部位设在无尘房1内。这样的设置有利于节约无尘房1的空间,降低无尘房1的成本。
所述箱式真空镀膜机2内设有真空室3,所述箱式真空镀膜机2一侧设有与真空室3连通的抽气系统4,所述箱式真空镀膜机2顶部设有与真空室3连通的充气系统5,所述充气系统5包括充气管道6,所述充气管道6末端的充气口设在无尘房1内,所述充气管道6内还设有过滤层7,这样能有效防止灰尘带入真空室3,保证了镜片的质量。
所述抽气系统4包括抽气管道8,所述抽气管道8内设有过滤层7,其能收集真空室3内的灰尘,并防止灰尘被带入无尘房1。
所述充气系统5包括3个间隔均匀地设置在箱式真空镀膜机2顶部的充气管道6,有利于往真空室3均匀地充气。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出的是,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也不超出本实用新型保护的范围。
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