[实用新型]硅片抓取装置及使用该装置的太阳能电池生产设备有效
| 申请号: | 201720012372.5 | 申请日: | 2017-01-05 |
| 公开(公告)号: | CN206301773U | 公开(公告)日: | 2017-07-04 |
| 发明(设计)人: | 上官泉元;聂文杰;李跃平 | 申请(专利权)人: | 江西比太科技有限公司;上海客辉自动化设备有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人: | 史明罡 |
| 地址: | 330096 江西省南昌市*** | 国省代码: | 江西;36 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 本实用新型涉及太阳能电池加工装置技术领域,尤其是涉及一种硅片抓取装置及使用该装置的太阳能电池生产设备。所述的硅片抓取装置包括机架、第一机械臂、第二机械臂、电机、第一升降机构和第二升降机构;机架上安装有平移机构,电机用于驱动平移机构以使第一机械臂和第二机械臂沿机架的长度方向往复运动;第一升降机构与第一机械臂相连接,第二升降机构与第二机械臂相连接;第一机械臂与第二机械臂均设置有吸盘座,吸盘座的下表面设置有吸盘;第一机械臂的吸盘座与第二机械臂的吸盘座之间的距离为硅片边长的两倍。太阳能电池生产设备,包括载板和所述的硅片抓取装置。本实用新型能够节省空间,提高硅片的抓取和放置效率。 | ||
| 搜索关键词: | 硅片 抓取 装置 使用 太阳能电池 生产 设备 | ||
【主权项】:
一种硅片抓取装置,其特征在于:包括机架、第一机械臂、第二机械臂、电机、第一升降机构和第二升降机构;所述机架上安装有平移机构,所述平移机构上连接有机械臂安装架,所述第一机械臂和所述第二机械臂均与所述机械臂安装架连接;所述电机用于驱动所述平移机构以使所述第一机械臂和所述第二机械臂沿所述机架的长度方向往复运动;所述第一升降机构与所述第一机械臂相连接,用于驱动所述第一机械臂升起或降落,所述第二升降机构与所述第二机械臂相连接,用于驱动所述第二机械臂升起或降落;所述第一机械臂与所述第二机械臂均设置有吸盘座,所述吸盘座的下表面设置有吸盘;所述吸盘用于吸附硅片;所述第一机械臂的吸盘座与所述第二机械臂的吸盘座之间的距离为所述硅片的边长的两倍。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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