[实用新型]硅片抓取装置及使用该装置的太阳能电池生产设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池加工装置技术领域，尤其是涉及一种硅片抓取装置及使用该装置的太阳能电池生产设备。

背景技术

晶硅太阳能电池具有工艺简单、太阳能转化效率较高等优点而被大规模应用，在晶硅电池的生产中，RIE干法制绒和PECVD真空镀膜是两个重要的真空工艺技术。RIE干法制绒是在真空化学气氛下经等离子激发形成低反射率的粗糙表面。而等离子强化的化学气相沉积(PECVD)真空镀膜是用在正表面氮化硅抗反射膜和背表面氧化铝和氮化硅钝化膜的形成。

RIE干法制绒和PECVD真空镀膜技术的通常工艺流程为：将硅片在大气中放置在载板上，载板通过滚轮传输到装载腔中，在装载腔抽真空抽到10Pa左右；然后再传输到工艺腔接受RIE刻蚀或PECVD镀膜。工艺完成后，载板进入卸载腔(放气腔)，再将处理后的硅片从载板上取走。在这个过程中，硅片的放置速度和效率对后续工艺有着至关重要的影响。现有的硅片抓取装置占地面积大，而且对硅片的抓取和放置效率低，导致太阳能电池的生产效率下降。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片抓取装置，已解决现有的硅片抓取装置存在的占用空间大、抓取和放置效率低的技术问题。

本实用新型的目的还在于提供一种太阳能电池生产设备，以解决现有的太阳能电池生产设备因硅片抓取装置的抓取和放置效率低而导致的生产效率低的技术问题。

基于上述第一目的，本实用新型提供了一种硅片抓取装置，包括机架、第一机械臂、第二机械臂、电机、第一升降机构和第二升降机构；所述机架上安装有平移机构，所述平移机构上连接有机械臂安装架，所述第一机械臂和所述第二机械臂均与所述机械臂安装架连接；所述电机用于驱动所述平移机构以使所述第一机械臂和所述第二机械臂沿所述机架的长度方向往复运动；所述第一升降机构与所述第一机械臂相连接，用于驱动所述第一机械臂升起或降落，所述第二升降机构与所述第二机械臂相连接，用于驱动所述第二机械臂升起或降落；所述第一机械臂与所述第二机械臂均设置有吸盘座，所述吸盘座的下表面设置有吸盘；所述吸盘用于吸附硅片；所述第一机械臂的吸盘座与所述第二机械臂的吸盘座之间的距离为所述硅片的边长的两倍。

进一步的，所述平移机构包括直线导轨和丝杠；所述直线导轨固定安装于所述机架上，且所述直线导轨的长度方向与所述机架的长度方向相平行；所述丝杠设置在所述直线导轨的内部，所述丝杠上设置有平移滑块，所述平移滑块能够沿所述丝杠的长度方向往复移动；所述平移滑块设置有与所述直线导轨相配合的滑槽，所述电机用于驱动所述丝杠转动；所述机械臂安装架与所述平移滑块固定连接。

进一步的，所述机架包括两个平行设置的架梁，所述平移机构为两个，其中，两个所述直线导轨分别固定安装于两个所述架梁上；所述电机通过同步传动装置驱动两个所述丝杠转动。

进一步的，所述同步传动装置包括同步轴，所述电机通过所述同步轴驱动所述丝杠转动；所述同步轴固定连接有第一主锥齿轮和第二主锥齿轮；两个所述丝杠分别固定连接有第一从锥齿轮和第二从锥齿轮，所述第一主锥齿轮与所述第一从锥齿轮相啮合，所述第二主锥齿轮与所述第二从锥齿轮相啮合。

进一步的，所述机械臂安装架的与所述机架长度方向相垂直的两个侧面上分别设置有第一升降滑轨和第二升降滑轨；所述第一机械臂包括第一机械臂连接板和吸盘安装架，所述第一机械臂连接板与所述吸盘安装架固定连接，所述第一机械臂连接板上设置有与所述第一升降滑轨相配合的第一滑块；所述第二机械臂包括第二机械臂连接板和所述吸盘安装架，所述第二机械臂连接板与所述吸盘安装架固定连接，所述第二机械臂连接板上设置有与所述第二升降滑轨相配合的第二滑块。

进一步的，所述第一升降机构为第一升降气缸，所述第一升降气缸的活塞杆与所述第一机械臂连接板固定连接；所述第二升降机构为第二升降气缸，所述第二升降气缸的活塞杆与所述第二机械臂连接板固定连接。

进一步的，所述机械臂安装架与所述平移滑块之间设置有加强筋板。

进一步的，所述吸盘座设置在所述吸盘安装架上。

进一步的，所述吸盘为伯努利吸盘。

基于上述第二目的，本实用新型还提供了一种太阳能电池生产设备，包括载板和所述的硅片抓取装置，所述硅片抓取装置用于将所述硅片放置于所述载板上或将所述硅片从所述载板上取下。