[实用新型]用于化学喷射沉积的超声波喷嘴有效
| 申请号： | 201720006825.3 | 申请日： | 2017-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN206425165U | 公开（公告）日： | 2017-08-22 |
| 发明（设计）人： | 张龙飞;任宇航;刘宽菲;罗明新 | 申请（专利权）人： | 浙江尚越新能源开发有限公司 |
| 主分类号： | B05B17/06 | 分类号： | B05B17/06;C23C18/00;H01L31/18;H01L21/67 |
| 代理公司： | 杭州华知专利事务所33235 | 代理人： | 龙湖浩 |
| 地址： | 311100 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于化学喷射沉积的超声波喷嘴，包括喷嘴本体，喷嘴本体上端设置溶液进孔，上端两侧分别设置超声波发生部件，喷嘴本体下端设置若干溶液出孔，以每列溶液出孔计数，分为n孔、n‑1孔、n‑2孔，溶液出孔按若干列n孔–若干列n‑1孔–若干列n‑2孔‑若干列n‑1孔–若干列n孔在喷嘴本体下端排列。本实用新型通过设置超声波发生部件和改变溶液出孔排列，使得溶液喷洒更流畅，喷射的液体在衬底表面分布更均匀，保持了衬底表面液体的均匀性，充分提高了化学喷射沉积薄膜的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 化学 喷射 沉积 超声波 喷嘴 | ||
【主权项】：
一种用于化学喷射沉积的超声波喷嘴，其特征在于，包括喷嘴本体，喷嘴本体上端设置溶液进孔，上端两侧分别设置超声波发生部件，喷嘴本体下端设置若干溶液出孔，以每列溶液出孔计数，分为n孔、n‑1孔、n‑2孔，溶液出孔按若干列n孔–若干列n‑1孔–若干列n‑2孔‑若干列n‑1孔–若干列n孔在喷嘴本体下端排列。
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