[实用新型]用于化学喷射沉积的超声波喷嘴

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种喷嘴，尤其是涉及一种用于化学喷射沉积的超声波喷嘴。

背景技术

随着全球气候变暖、生态环境恶化和常规能源的短缺，太阳能已成为各国可持续发展的重要战略决策。太阳能电池就是一种将太阳能转化成电能的装置，具备超过电能、风能等资源的独特性能，而有希望成为未来电力行业的重要支柱。太阳能电池主要分为硅太阳能电池、化合物半导体薄膜电池、有机聚合物电池、纳米晶电池、有机薄膜电池等。其中，铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池属于半导体薄膜电池，由于铜铟镓硒具备直接带隙结构，并且具有较高的吸收系数，膜层只需达到微米级就可全部吸收能量大于铜铟镓硒薄膜带宽的入射光，因此铜铟镓硒薄膜太阳能电池可节省大量的原料，并且受稀有元素价格提升和原料短缺的影响相对较小，具有光吸收能力强，放电稳定性好、转化效率高，白天发电时间长、发电量高，生产成本低以及能源回收周期短等诸多优势，因而具有广阔的市场前景。

铜铟镓硒薄膜太阳能电池主要有窗口层、缓冲层、吸收层、背电极和衬底组成。其中，缓冲层的作用有两个：一是作为吸收层的保护层，防止后续工艺对吸收层的破坏，二是作为吸收层和窗口层的过渡层，减小晶格失配。缓冲层的制备一般采用化学沉积法，利用喷嘴将溶液喷射到衬底上通过化学沉积制备。目前化学沉积使用的喷嘴溶液出孔直径为0.4mm左右，出孔在喷嘴上均匀分布，喷洒溶液时容易堵塞，喷洒分布不均匀，从而易造成衬底上生成的薄膜不均一。

发明内容

本实用新型目的是提供一种用于化学喷射沉积的超声波喷嘴，以解决现有技术的不足。

本实用新型采用以下技术方案：

一种用于化学喷射沉积的超声波喷嘴，包括喷嘴本体，喷嘴本体上端设置溶液进孔，上端两侧分别设置超声波发生部件，喷嘴本体下端设置若干溶液出孔，以每列溶液出孔计数，分为n孔、n-1孔、n-2孔，溶液出孔按若干列n孔–若干列n-1孔–若干列n-2孔-若干列n-1孔–若干列n孔在喷嘴本体下端排列。

优选地，n为大于等于3的自然数。

优选地，若干列n孔–若干列n-1孔–若干列n-2孔-若干列n-1孔–若干列n孔，各列数相同或不相同。

优选地，喷嘴本体两侧端分别设置支撑头。

优选地，超声波发生部件包括超声波发生器和超声波换能器，超声波发生器和超声波换能器电连接，超声波换能器设置在喷嘴本体内部。

本实用新型的有益效果：

1、目前喷嘴溶液出孔直径较小，容易发生堵塞，本实用新型在喷嘴本体上端两侧分别设置超声波发生部件，使溶液在喷嘴里面充分振动，避免喷嘴阻塞，可以保持长时间喷洒均匀。

2、目前溶液出孔在喷嘴下端均匀排布，在实际成产中，衬底中间部分受到喷嘴中间喷洒溶液的影响，还受到两边喷洒溶液的影响，而两边只受到各自所在边和中间的影响，溶液喷洒在衬底上分布不均匀，中间多，两边少，沉积的膜不均匀，本实用新型溶液出孔按若干列n孔–若干列n-1孔–若干列n-2孔-若干列n-1孔–若干列n孔在喷嘴本体下端排列，可以有效减弱中间的影响，使得喷洒的溶液分布均匀。

综上，本实用新型通过设置超声波发生部件和改变溶液出孔排列，使得溶液喷洒更流畅，喷射的液体在衬底表面分布更均匀，保持了衬底表面液体的均匀性，充分提高了化学喷射沉积薄膜的均匀性。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的俯视图。

图3为本实用新型的仰视图。

具体实施方式

为了使本实用新型所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

一种用于化学喷射沉积的超声波喷嘴，如图1至图3所示，包括喷嘴本体1，喷嘴本体1上端设置溶液进孔2，上端两侧分别设置超声波发生部件5。喷嘴本体1下端设置若干溶液出孔3，以每列溶液出孔计数，分为n孔、n-1孔、n-2孔，优选地，n为大于等于3的自然数。溶液出孔3按若干列n孔–若干列n-1孔–若干列n-2孔-若干列n-1孔–若干列n孔在喷嘴本体下端排列，各列数相同或不相同。图3中n为3，溶液出孔3按3列3孔–3列2孔–3列1孔-3列2孔–3列3孔在喷嘴本体1下端排列。喷嘴本体1两侧端分别设置支撑头4。