[发明专利]一种液晶面板光罩盒用防抖动清洗装置在审
申请号: | 201711488808.9 | 申请日: | 2017-12-30 |
公开(公告)号: | CN107976863A | 公开(公告)日: | 2018-05-01 |
发明(设计)人: | 张剑鸣 | 申请(专利权)人: | 苏州慧桥自动化设备有限公司 |
主分类号: | G03F1/82 | 分类号: | G03F1/82;G02F1/13;B08B5/02;B08B3/02;B08B1/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215500 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种液晶面板光罩盒用防抖动清洗装置,包括第一承接单元、清洗单元、其他设备对接口和风机抽风单元,所述第一承接单元的左端设置有主框架,且主框架的内侧安置有搬运单元,所述清洗单元位于主框架的底端,且主框架的下方外接有系统控制单元,所述主框架的底端设置有第二承接单元,且主框架的顶部安置有照射单元,所述风机抽风单元位于主框架的左侧,且主框架的中部连接有存储单元,所述主框架的底端安装有手洗单元,且主框架的顶部固定有检查单元。该液晶面板光罩盒用防抖动清洗装置设置有主框架,通过主框架右端的第一承接单元,能够对接MGV,使得液晶面板光罩盒从MGV上手动承接过来。 | ||
搜索关键词: | 一种 液晶面板 光罩盒用防 抖动 清洗 装置 | ||
【主权项】:
一种液晶面板光罩盒用防抖动清洗装置,包括第一承接单元(1)、清洗单元(2)、其他设备对接口(5)和风机抽风单元(6),其特征在于:所述第一承接单元(1)的左端设置有主框架(12),且主框架(12)的内侧安置有搬运单元(10),所述清洗单元(2)位于主框架(12)的底端,且主框架(12)的下方外接有系统控制单元(11),所述主框架(12)的底端设置有第二承接单元(3),且主框架(12)的顶部安置有照射单元(9),所述风机抽风单元(6)位于主框架(12)的左侧,且主框架(12)的中部连接有存储单元(8),所述主框架(12)的底端安装有手洗单元(4),且主框架(12)的顶部固定有检查单元(7),所述其他设备对接口(5)位于主框架(12)的底端,且主框架(12)的外壁设置有固定垫(13),所述固定垫(13)远离主框架(12)的中轴线外侧设置有固定块(14),且固定块(14)的中部贯穿有螺栓(15),所述固定块(14)的底端安置有底座(16),且底座(16)的内侧设置有凹槽(17),所述凹槽(17)的内部安置有减震垫(18)。
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G03 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备
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