[发明专利]一种液晶面板光罩盒用防抖动清洗装置在审
| 申请号： | 201711488808.9 | 申请日： | 2017-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN107976863A | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 张剑鸣 | 申请（专利权）人： | 苏州慧桥自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F1/82 | 分类号： | G03F1/82;G02F1/13;B08B5/02;B08B3/02;B08B1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215500 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 液晶面板 光罩盒用防 抖动 清洗 装置 | ||
1.一种液晶面板光罩盒用防抖动清洗装置，包括第一承接单元(1)、清洗单元(2)、其他设备对接口(5)和风机抽风单元(6)，其特征在于：所述第一承接单元(1)的左端设置有主框架(12)，且主框架(12)的内侧安置有搬运单元(10)，所述清洗单元(2)位于主框架(12)的底端，且主框架(12)的下方外接有系统控制单元(11)，所述主框架(12)的底端设置有第二承接单元(3)，且主框架(12)的顶部安置有照射单元(9)，所述风机抽风单元(6)位于主框架(12)的左侧，且主框架(12)的中部连接有存储单元(8)，所述主框架(12)的底端安装有手洗单元(4)，且主框架(12)的顶部固定有检查单元(7)，所述其他设备对接口(5)位于主框架(12)的底端，且主框架(12)的外壁设置有固定垫(13)，所述固定垫(13)远离主框架(12)的中轴线外侧设置有固定块(14)，且固定块(14)的中部贯穿有螺栓(15)，所述固定块(14)的底端安置有底座(16)，且底座(16)的内侧设置有凹槽(17)，所述凹槽(17)的内部安置有减震垫(18)。
2.根据权利要求1所述的一种液晶面板光罩盒用防抖动清洗装置，其特征在于：所述其他设备对接口(5)的宽度与检查单元(7)的宽度相等，且其他设备对接口(5)与主框架(12)的顶部呈垂直状连接。
3.根据权利要求1所述的一种液晶面板光罩盒用防抖动清洗装置，其特征在于：所述风机抽风单元(6)关于主框架(12)的横向轴线对称，且风机抽风单元(6)与主框架(12)左端的连接方式为焊接。
4.根据权利要求1所述的一种液晶面板光罩盒用防抖动清洗装置，其特征在于：所述存储单元(8)等距有7组，且存储单元(8)的高度为10cm。
5.根据权利要求1所述的一种液晶面板光罩盒用防抖动清洗装置，其特征在于：所述固定块(14)与螺栓(15)构成可拆卸装置，且固定块(14)的厚度大于固定垫(13)的厚度。
6.根据权利要求1所述的一种液晶面板光罩盒用防抖动清洗装置，其特征在于：所述凹槽(17)与减震垫(18)的形状相吻合，且减震垫(18)的外侧与凹槽(17)的内壁相贴合。
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G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如通过电子束；其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM]；PSM空白；其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜；其制备，例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜，例如用于校准或测试的特殊涂层或标记；其制备
