[发明专利]一种三氯化硼纯化装置

摘要

本发明公开了一种三氯化硼纯化装置，属于三氯化硼纯化技术领域。它包括依次连接的原料钢瓶、一级吸附器、反应脱除器、二级吸附器、中间罐、一级精馏塔、二级精馏塔、冷凝器、产品罐，所述一级吸附器为双路并联结构，所述反应脱除器为双路并联结构，所述中间罐的罐体外围安装有冷热盘管夹套，所述中间罐、一级精馏塔、二级精馏塔的残留废液排出口连接有废液罐。通过以上成套设备和工艺步骤逐步吸附、分解、反应、蒸馏、冷凝，能够使得三氯化硼原料中的有害杂质降低到0.5ppm以下，完全满足LED行业及芯片行业的要求。 1

主权项

1.一种三氯化硼纯化装置，其特征在于：它包括依次连接的原料钢瓶、一级吸附器、反应脱除器、二级吸附器、中间罐、一级精馏塔、二级精馏塔、冷凝器、产品罐，所述一级吸附器为双路并联结构，所述反应脱除器为双路并联结构，所述中间罐的罐体外围安装有冷热盘管夹套，所述中间罐、一级精馏塔、二级精馏塔的残留废液排出口连接有废液罐。

2.根据权利要求1所述一种三氯化硼纯化装置，其特征在于：所述一级吸附器内的固体吸附剂为球形活性炭吸附剂。

3.根据权利要求1所述一种三氯化硼纯化装置，其特征在于：所述一级吸附器为双路并联结构，每路一级吸附器两端均设有阀门，通过阀门控制一路连通进行吸附，另一路关闭对吸附剂进行活化处理，两路定时切换。

4.根据权利要求1所述一种三氯化硼纯化装置，其特征在于：所述反应脱除器为双层结构，第一层为高温分解层，第二层为添加碳化硼的反应层。

5.根据权利要求4所述一种三氯化硼纯化装置，其特征在于：所述反应脱除器的碳化硼装填在蒙耐尔合金的圆盘状笼内。

6.根据权利要求1所述一种三氯化硼纯化装置，其特征在于：所述二级吸附器内部填充四层填料，从进气口到出气口依次为活性炭层、改性的沸石3A分子筛层、改性的沸石5A分子筛层、改性的沸石13X分子筛层。

7.根据权利要求1所述一种三氯化硼纯化装置，其特征在于：所述产品罐带夹套加热装置和盘管制冷装置。