[发明专利]一种掩膜板在审
| 申请号： | 201711471181.6 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108220876A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 匡友元 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 李莉 |
| 地址： | 518006 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种掩膜板，该掩膜板包括边框、连接件及掩膜单元；其中，边框设有开口槽，连接件设置于开口槽内，掩膜单元与连接件连接并与边框层叠设置，用于形成掩膜图案。通过这种掩膜板，本发明使得掩膜单元不与边框直接连接，从而使得掩膜单元需要拆卸并重新安装时，通过将连接件从开口槽内拆出并再将连接件重新设置于开口槽内即可，进而在掩膜单元拆卸并重新安装时，不需要对边框进行打磨，避免了边框因打磨导致厚度变薄，而降低掩膜效果的问题，提高了产品的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 边框 掩膜单元 连接件 开口槽 掩膜板 掩膜 拆卸 打磨 层叠设置 厚度变薄 掩膜图案 重新设置 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括边框、连接件及掩膜单元；其中，所述边框设有开口槽，所述连接件设置于所述开口槽内，所述掩膜单元与所述连接件连接并与所述边框层叠设置，用于形成掩膜图案。
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