[发明专利]一种掩膜板在审
申请号: | 201711471181.6 | 申请日: | 2017-12-28 |
公开(公告)号: | CN108220876A | 公开(公告)日: | 2018-06-29 |
发明(设计)人: | 匡友元 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;H01L51/56 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 李莉 |
地址: | 518006 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 边框 掩膜单元 连接件 开口槽 掩膜板 掩膜 拆卸 打磨 层叠设置 厚度变薄 掩膜图案 重新设置 | ||
本发明提供了一种掩膜板,该掩膜板包括边框、连接件及掩膜单元;其中,边框设有开口槽,连接件设置于开口槽内,掩膜单元与连接件连接并与边框层叠设置,用于形成掩膜图案。通过这种掩膜板,本发明使得掩膜单元不与边框直接连接,从而使得掩膜单元需要拆卸并重新安装时,通过将连接件从开口槽内拆出并再将连接件重新设置于开口槽内即可,进而在掩膜单元拆卸并重新安装时,不需要对边框进行打磨,避免了边框因打磨导致厚度变薄,而降低掩膜效果的问题,提高了产品的品质。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别是涉及一种掩膜板。
背景技术
OLED作为新一代的固态自发光显示技术,相较于液晶显示具有超薄、响应度高、对比度高、功耗低等优势,近几年产业化速度突飞猛进。目前OLED主流的制备技术和方法是蒸镀法,即在真空腔体内加热有机小分子材料,使其升华或者熔融气化成材料蒸汽,透过金属掩膜板的开孔沉积在玻璃基板上。
现有技术中,金属掩膜板一般将掩膜单元直接焊接在边框上,当随着掩膜板使用次数的增加,掩膜单元需要更换或重新加工,此时,就需要将掩膜单元从边框上拆卸下来,在重新将掩膜单元焊接在边框上之前,需要对边框进行打磨,而多次打磨后,边框会因为厚度变薄,而导致边框中部下垂,进而使得在掩膜单元焊接在边框后用于掩膜时,掩膜单元与待掩膜基板之间存在一定空隙,从而降低掩膜效果,进而降低OLED发光元件的品质。
发明内容
本发明主要解决的技术问题是提供一种掩膜板,旨在解决掩膜单元直接焊接在边框上,使得在掩膜单元拆卸并重新安装时,导致边框厚度变薄而降低掩膜效果的问题。
为解决上述技术问题,本发明采用的一个技术方案是:提供一种掩膜板,所述掩膜板包括边框、连接件及掩膜单元;其中,所述边框设有开口槽,所述连接件设置于所述开口槽内,所述掩膜单元与所述连接件连接并与所述边框层叠设置,用于形成掩膜图案。
本发明的有益效果是:区别于现有技术的情况,本发明通过在掩膜板的边框设置开口槽,掩膜单元与设置在开口槽内的连接件连接,以使得掩膜单元不与边框直接连接,从而使得掩膜单元需要拆卸并重新安装时,通过将连接件从开口槽内拆出并再将连接件重新设置于开口槽内即可,进而在掩膜单元拆卸并重新安装时,不需要对边框进行打磨,避免了边框因打磨导致厚度变薄,而降低掩膜效果的问题,提高了产品的品质。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图,其中:
图1是本发明提供的掩膜板第一实施例的结构示意图;
图2是图1中边框的结构示意图;
图3是图1中边框的另一实施例的结构示意图;
图4是图1中掩膜板工作的结构示意图;
图5是图3中掩膜板工作的结构示意图;
图6是本发明提供的掩膜板第二实施例的结构示意图;
图7是图6中边框的结构示意图;
图8是图6中掩膜板工作的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
参阅图1,图1是本发明提供的掩膜板10第一实施例的结构示意图,本实施例的掩膜板10包括边框11、连接件12及掩膜单元13。
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