[发明专利]一种可调超高加速度宏微运动平台

摘要

本发明属于微电子制造装备运动平台技术领域，具体涉及一种可调超高加速度宏微运动平台，包括基座、设置在基座上的宏微运动平台，宏微运动平台的左右两侧分别连接有直线电机组，直线电机组设置在减振平台上，减振平台的下部均与基座相连接，减振平台包括下底座、上底座和减振模块，下底座固定在基座上，上底座和下底座之间设置有滑动副，减振模块设置在下底座和上底座之间，本装置能够产生超大力和超大加速度，并且提供的力和加速度能够根据需要进行调整。

主权项

一种可调超高加速度宏微运动平台，其特征在于：包括基座、设置在基座上的宏微运动平台，宏微运动平台的左右两侧分别连接有直线电机组，宏微运动平台左右两侧的直线电机组结构相同，所述宏微运动平台一侧的直线电机组包括多个直线电机，直线电机之间设置有臂杆，臂杆将直线电机连接成一体，每个直线电机均安装在一个减振平台上，每个减振平台的下部均与基座相连接，所述的减振平台包括下底座、上底座和减振模块，所述的下底座固定在基座上，下底座的上表面上设置有多列相互平行的导轨，导轨的走向与直线电机的运动方向相同，直线电机组的两端分别设置有一个挡板，挡板的下端固定在下底座的上表面上，所述的上底座的下表面上设置有有多列相互平行的滑块，滑块放置在导轨上，滑块与导轨之间组成滑动副，每个上底座上设置有导孔，上底座之间的导孔内设置有一根导柱，导柱的两端分别与下底座两端的挡板相连接，所述的减振模块包括U形的导杆锁、导杆、小滑块、弹性元件和阻尼，所述的导杆的两端分别与导杆锁相连接，所述的小滑块上设置有通孔，导杆从小滑块上的通孔内穿过，导杆锁和小滑块之间的导杆外圆面上套装有弹性元件，导杆锁和小滑块之间还设置有阻尼，所述的导杆锁、小滑块分别与下底座、上底座相连接。