[发明专利]一种可调超高加速度宏微运动平台

说明书

本发明属于微电子制造装备运动平台技术领域，具体涉及一种可调超高加速度宏微运动平台，包括基座、设置在基座上的宏微运动平台，宏微运动平台的左右两侧分别连接有直线电机组，直线电机组设置在减振平台上，减振平台的下部均与基座相连接，减振平台包括下底座、上底座和减振模块，下底座固定在基座上，上底座和下底座之间设置有滑动副，减振模块设置在下底座和上底座之间，本装置能够产生超大力和超大加速度，并且提供的力和加速度能够根据需要进行调整。

技术领域

本发明属于微电子制造装备技术领域，具体涉及一种可调超高加速度宏微运动平台。

背景技术

随着微电子产业快速发展，超大力、高加速度、力度调节方便的精密定位平台作为关键设备的作用性已经显现，特别是在引线键合及光刻等微电子制造领域中，更需要运动平台完成超大力、高加速度超精密定位运动。目前，超高速的宏微运动平台是通过提高平台运动的行程来提高加速度和力的，运动平台产生力道的大小与平台运动的行程有很大的关系，而且现有运动平台所能产生的总力度调整不便，最后，当运动平台能够在短时间内产生足够大力度的时候，就必须优化运动平台的减振机构和运动机构，从而保证宏微运动平台的精度。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足而提供一种可调超高加速度宏微运动平台。

本发明是这样实现的：一种可调超高加速度宏微运动平台，其特征在于：包括基座、设置在基座上的宏微运动平台，宏微运动平台的左右两侧分别连接有直线电机组，宏微运动平台左右两侧的直线电机组结构相同，所述宏微运动平台一侧的直线电机组包括多个直线电机，直线电机之间设置有臂杆，臂杆将直线电机连接成一体，每个直线电机均安装在一个减振平台上，每个减振平台的下部均与基座相连接，所述的减振平台包括下底座、上底座和减振模块，所述的下底座固定在基座上，下底座的上表面上设置有多列相互平行的导轨，导轨的走向与直线电机的运动方向相同，直线电机组的两端分别设置有一个挡板，挡板的下端固定在下底座的上表面上，所述的上底座的下表面上设置有有多列相互平行的滑块，滑块放置在导轨上，滑块与导轨之间组成滑动副，每个上底座上设置有导孔，上底座之间的导孔内设置有一根导柱，导柱的两端分别与下底座两端的挡板相连接，所述的减振模块包括U形的导杆锁、导杆、小滑块、弹性元件和阻尼，所述的导杆的两端分别与导杆锁相连接，所述的小滑块上设置有通孔，导杆从小滑块上的通孔内穿过，导杆锁和小滑块之间的导杆外圆面上套装有弹性元件，导杆锁和小滑块之间还设置有阻尼，所述的导杆锁、小滑块分别与下底座、上底座相连接。

所述的宏微运动平台包括底座，中间平台和定位平台，所述底座的下部与基座相连接，底座的上表面与中间平台的下表面之间设置有滑轨副，滑轨副的运动方向与直线电机的运动方向相同，中间平台的左右两个端面上设置有凸台，所述的凸台与臂杆相连接，所述的定位平台的中部设置有孔洞，孔洞内设置有柔性平台，柔性平台的端面与定位平台孔洞的内表面之间通过多个连接条柔性连接，柔性平台与定位平台之间设置有压电制动器，柔性平台与中间平台的上表面固定连接；宏微运动平台还包括光栅尺和读数头，所述的光栅尺、读数头分别安装在定位平台、底座的前侧面或者后侧面上。

进一步优化，所述的直线电机为音圈电机。

进一步优化，所述上底座上的导孔为两列，两列导孔相互平行。

进一步优化，所述的臂杆包括U型臂杆和杆状臂杆，U型臂杆包括横梁和与横梁的两端相连接的水平梁，横梁与中间平台端面上的凸台相连接，U型臂杆的两根水平梁分别与直线电机两侧的杆状臂杆相连接，杆状臂杆之间首尾相连接，杆状臂杆的侧面与直线电机相连接。

更进一步优化，所述的光栅尺安装在定位平台的前侧面上，读数头安装在底座的前侧面上，读数头位于光栅尺的前方。

更进一步优化，基座上表面与中间平台下表面之间的滑轨副接触面为竖直面。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：