[发明专利]一种便携式高加速宏微运动平台

摘要

本发明属于微电子制造技术领域，具体涉及一种便携式高加速宏微运动平台，包括底座，底座上设置有平台底座，平台底座上设置有X轴平台，X轴平台上设置有Y轴平台，底座上设置有旋转电机，旋转电机的输出轴上固定设置有齿轮，X轴平台的底部侧面设置有X轴齿条，Y轴平台的底部侧面设置有Y轴齿条，齿轮同时与X轴齿条和Y轴齿条啮合，Y轴平台的上方设置有XY微动平台，X轴平台与平台底座之间设有X轴导轨副，X轴平台与Y轴平台之间设有Y轴导轨副，该便携式宏微运动平台采用了旋转电机同时驱动X轴平台和Y轴平台，解决了传统平台占用大量空间而无法节省整机空间和成本的问题，同时使X/Y轴平台高加速直线运动，使平台能实现快速定位。

主权项

一种便携式高加速宏微运动平台，包括底座，底座上设置有平台底座，平台底座上设置有X轴平台，X轴平台上设置有Y轴平台，其特征在于：所述底座的中间位置设置有旋转电机，旋转电机的输出轴上固定设置有齿轮，平台底座的中间位置设置有平台底座通孔，平台底座上面设置有贯穿X轴方向的台阶，X轴平台的中间位置设置有X轴平台通孔，X轴平台的下面的设置有贯穿X轴方向的台阶和凹槽，X轴平台的凹槽一侧面设置有X轴齿条，X轴平台的上面设置有贯穿Y轴方向的台阶，Y轴平台的下面的设置有贯穿Y轴方向的台阶和凹槽，Y轴平台的凹槽一侧面设置有Y轴齿条，Y轴平台的上方设置有XY微动平台，XY微动平台上设置有X轴压电陶瓷驱动器和Y轴压电陶瓷驱动器，X轴压电陶瓷驱动器和Y轴压电陶瓷驱动器通过柔性铰链与XY微动平台连接，X轴平台与平台底座之间的台阶处设置有X轴第一导轨副和X轴第二导轨副，X轴平台与Y轴平台之间的台阶处设置有Y轴第一导轨副和Y轴第二导轨副，齿轮同时与X轴齿条和Y轴齿条啮合。