[发明专利]一种太阳能电池片的生产方法

摘要

本发明公开了一种太阳能电池片的生产方法，属于晶体硅太阳能电池技术领域。本发明的太阳能电池片镀膜工艺包括以下步骤：进舟、常压升温、一次抽真空、真空升温、一次调压、预沉积、一次等离子溅射沉积、二次抽真空、二次调压、二次等离子溅射沉积、清洗、三次抽真空、充氮和出舟。采用本发明的镀膜工艺能够有效避免EL舟框印缺陷的产生，并保证电池的光电转化效率。

主权项

1.一种太阳能电池片的生产方法，包括制绒工序、扩散工序、刻蚀工序、PECVD工序、丝网印刷工序和测试分选工艺，其特征在于，具体包括以下步骤：步骤一、制绒：将硅片先进行制绒，去除表面损伤层，然后进行去金属离子处理；步骤二、扩散：将制绒工序后的硅片移至石英舟槽内，再将石英舟槽移至碳化硅桨上进行扩散；步骤三、刻蚀：将扩散后的硅片移至刻蚀上料段，扩散面朝上进入刻蚀机台进行刻蚀；步骤四、PECVD工序：将刻蚀后的硅片放入石墨舟中，将石墨舟送入PECVD镀膜设备石英管加工腔中进行镀膜，其中石墨舟送入石英管加工腔后，先进行常压升温，然后再进行抽真空和真空升温，真空升温后即进行等离子溅射沉积处理；步骤五、丝网印刷：将PECVD工序后的硅片放入印刷机上进行丝网印刷，印刷后将硅片送入烧结炉中进行烧结；步骤六、测试分选：将烧结后的硅片进行性能测试，并对测试后的硅片分选成多个效率等级。