[发明专利]一种太阳能电池片的生产方法

权利要求书

1.一种太阳能电池片的生产方法，包括制绒工序、扩散工序、刻蚀工序、PECVD工序、丝网印刷工序和测试分选工艺，其特征在于，具体包括以下步骤：

步骤一、制绒：将硅片先进行制绒，去除表面损伤层，然后进行去金属离子处理；

步骤二、扩散：将制绒工序后的硅片移至石英舟槽内，再将石英舟槽移至碳化硅桨上进行扩散；

步骤三、刻蚀：将扩散后的硅片移至刻蚀上料段，扩散面朝上进入刻蚀机台进行刻蚀；

步骤四、PECVD工序：将刻蚀后的硅片放入石墨舟中，将石墨舟送入PECVD镀膜设备石英管加工腔中进行镀膜，其中石墨舟送入石英管加工腔后，先进行常压升温，然后再进行抽真空和真空升温，真空升温后即进行等离子溅射沉积处理；

步骤五、丝网印刷：将PECVD工序后的硅片放入印刷机上进行丝网印刷，印刷后将硅片送入烧结炉中进行烧结；

步骤六、测试分选：将烧结后的硅片进行性能测试，并对测试后的硅片分选成多个效率等级。

2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片的生产方法，其特征在于：所述步骤一中将硅片先置于体积比为氢氟酸(HF)：硝酸(HNO₃)：纯水(H₂O)＝1:(2～4.5):(1.8～4.2)的溶液中制绒面，去除损伤层，减少反射率；经水洗后进入导电率为20～28ms的碱洗槽，以去除未反应完的酸液和多孔硅；再次经过水洗后进入体积比为氢氟酸(HF)：盐酸(HCL)：纯水(H₂O)＝(1～1.6):1:(1.7～2.2)的溶液中，以去除未反应完的碱液和金属离子；最后再进行水洗和烘干处理。

3.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片的生产方法，其特征在于，所述的扩散工序包括以下步骤：

第一步：进舟9～11分钟，然后回温2～4min，温度为750～800℃，回温前氧化6～9分钟，通氧量为1000～1250sccm；

第二步：通磷扩散，磷源量为2800～2915sccm，通氧量为1000～1250sccm，温度为820～850℃，时间为8～11分钟；

第三步：深扩散，通氧量为1150～1280sccm，温度为820～850℃，时间为9～11分钟；

第四步：推结，温度为800～840℃，时间为12～15分钟；

第五步：通磷扩散，磷源量为2650～2900sccm，通氧量为1100～1280sccm，温度为800～840℃，时间为3～7分钟；

第六步：退火18～26分钟，温度由800～840℃降至730～750℃；退舟8～13分钟，结束。

4.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片的生产方法，其特征在于：所述刻蚀工艺是将硅片先置于体积比为氢氟酸(HF)：硝酸(HNO₃)：纯水(H₂O)：硫酸(H₂SO₄)＝1:(4.5～6.2):(5～6.3):(1～1.6)的溶液中去除边缘PN结；经水洗后进入浓度为3～7％的碱洗槽，去除未反应完的酸液和多孔硅；再次经水洗后进入浓度为5～10％的酸洗槽，去除未反应完的碱液和磷硅玻璃；最后再进行水洗、烘干处理。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的一种太阳能电池片的生产方法，其特征在于：所述PECVD工序中进舟后先在常压下将石英管炉内温度于12～15分钟内升至420～430℃；然后抽真空，并在真空状态下于3～6分钟将石英管炉内温度升至445～450℃。