[发明专利]照明系统光场均匀性的测试方法及其检测装置

摘要

本发明涉及一种照明系统光场均匀性的测试方法及其检测装置。包括以下有效步骤：对入射光进行扩束整形，得到初始光源；分束器将入射光分为两部分，一部分是待测二维光场，即待测目标光场。另一部分为参考光；将参考光的全部能量汇聚起来并测其大小；待测目标光场经光学系统后成像，测试并记录下每个像点的光强大小；对于待测目标光场中的一个固定像点，其统一标准的等效光强定义为该像点在同一时刻的参考光强与实测光强之比。若光场均匀，则每个像点所对应的统一标准等效光强相同；若光场不均匀，则统一标准的等效光强会出现偏差。统一标准的等效光强这一概念的引入可以消除光源的波动干扰，得到一种更准确的方法来对照明系统光场均匀性进行检测。

主权项

1.一种涉及照明系统光场均匀性的测试方法及其检测装置，该装置的组成从左到右依次为：1、193nm激光器；2、扩束器；3、分束器；4、照明系统；5、SS探测器；6、透镜；7、ES探测器；8、工作台。