[发明专利]照明系统光场均匀性的测试方法及其检测装置

权利要求书

1.一种涉及脉冲激光照明系统光场均匀性的检测装置，该检测装置包括：193nm激光器；扩束器；分束器；照明系统；SS探测器；透镜；ES探测器；工作台；193nm激光经过扩束器进行扩束整形后，得到检测所需的初始光源；利用分束器将其分为两部分，一部分为均匀性测试的二维光场，即待测目标光场，该待测目标光场经照明系统后成像，用SS探测器测试并记录下每个像点的光强大小，即实测光强；另一部分为参考光，该参考光是激光器所发射光的固定比例的一部分，这一比例不随时间变化，并且在测量过程中为了避免参考光的损失，使用一透镜将参考光的全部能量汇聚起来利用ES探测器测其大小，即参考光强。

2.一种采用权利要求1所述检测装置的检测方法，引入了描述像点光强大小的统一标准的等效光强：对于待测目标光场中的一个固定像点，其统一标准的等效光强定义为该像点在同一段时刻的参考光强与实测光强之比，并用统一标准的等效光强来描述照明系统光场的均匀性。