[发明专利]一种透明导电WC薄膜及其室温生长方法

摘要

本发明公开了一种透明导电WC薄膜，该WC薄膜的基体为非晶态，在非晶态基体中无序分布着高密度的结晶态的WC微晶，WC微晶尺寸约5nm，为六方相结构；WC薄膜可见光透射率高达85%，电阻率低至4.7×10^–3Ωcm；WC薄膜中的W:C的原子百分比为53.1:46.9；透明导电WC薄膜的显微硬度为21GPa。本发明还公开了该WC薄膜的制备方法：采用射频磁控溅射方法，以WC合金为靶材，Ar‑CH₄为工作气体；当反应室抽至本底真空度高于1×10^–4Pa后，通入Ar‑CH₄混合气体，WC薄膜在Ar和CH₄的等离子体气氛中室温生长；在沉积过程中采用汞灯照射衬底，汞灯的波长为185 nm和254 nm。通过等离子体增强和紫外增强的双重作用，提高室温生长WC薄膜的结晶质量。

主权项

1.一种透明导电WC薄膜，其特征在于：所述WC薄膜的基体为非晶态WC，在非晶态WC基体中无序分布着高密度的结晶态的WC微晶，为六方相结构；所述WC薄膜中的W:C的原子百分比为53.1:46.9。/n