[发明专利]用于生长石墨烯的立式管式炉和挂架有效
| 申请号： | 201711408019.X | 申请日： | 2017-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN109956467B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 沈大勇;谭朋利;刘海滨;谭化兵 | 申请（专利权）人： | 无锡格菲电子薄膜科技有限公司;常州第六元素半导体有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/186 | 分类号： | C01B32/186 |
| 代理公司： | 北京世衡知识产权代理事务所(普通合伙) 11686 | 代理人： | 郝文博;肖淑芳 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市惠山经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种生长石墨烯的立式管式炉和挂架。所述立式管式炉包括：炉体，所述炉体内设置有工艺舱；过渡舱，其设置在所述炉体的上方或下方，所述过渡舱构造成与所述工艺舱可连通和可关断；挂架，设置在所述工艺舱中，用于放置生长衬底；和移动装置，可将所述挂架在所述工艺舱和所述过渡舱之间来回移动。所述挂架包括上面板、下面板和连接所述上面板和下面板的管道。本发明采用立式的生长方法，在炉体大小不变的情况下，突破了原有管式炉生长的石墨烯薄膜尺寸大小的限制。采用工字型打孔的挂架形式，使得气流能够在各层衬底表面都能流过，使得石墨烯成膜质量提高。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 生长 石墨 立式 管式炉 挂架 | ||
【主权项】：
1.一种用于生长石墨烯的立式管式炉，包括：炉体，所述炉体内设置有工艺舱；过渡舱，其设置在所述炉体的上方或下方，所述过渡舱构造成与所述工艺舱可连通和可关断；挂架，设置在所述工艺舱中，用于放置生长衬底；和移动装置，可将所述挂架在所述工艺舱和所述过渡舱之间来回移动。
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