[发明专利]用于生长石墨烯的立式管式炉和挂架

权利要求书

1.一种用于生长石墨烯的立式管式炉，包括：

炉体，所述炉体内设置有工艺舱；

过渡舱，其设置在所述炉体的上方或下方，所述过渡舱构造成与所述工艺舱可连通和可关断；

挂架，设置在所述工艺舱中，用于放置生长衬底；和

移动装置，可将所述挂架在所述工艺舱和所述过渡舱之间来回移动；

所述移动装置为升降装置，所述升降装置包括电机、丝杆、导柱和托盘，所述导柱的一端与所述丝杆活动连接，另一端可伸入所述过渡舱内，与所述托盘连接，所述托盘用于放置所述挂架；通过所述电机驱动所述丝杆带动所述导柱伸入伸出所述过渡舱；

所述挂架包括：上面板、下面板和连接所述上面板和下面板的管道，所述管道用于放置所述生长衬底；所述上面板和下面板为圆形面板，所述上面板和下面板上设置有多个孔；所述管道为圆形管道，所述管道上设置有多个孔，所述管道上的孔沿气流方向的角度为45°。

2.根据权利要求1所述的立式管式炉，其中所述过渡舱设置在所述炉体的下方。

3.根据权利要求1或2所述的立式管式炉，其还包括机架，所述机架构造成用于支撑所述炉体和所述过渡舱，所述移动装置安装在所述机架上、所述炉体上或所述过渡舱上，所述移动装置包括电机和托盘，所述电机直接或间接驱动所述托盘，所述托盘可与所述挂架接合。

4.根据权利要求1所述的立式管式炉，其中所述工艺舱一端设置有进气口，另一端设置有真空抽口。

5.根据权利要求1所述的立式管式炉，其中所述工艺舱为石英管。

6.根据权利要求1所述的立式管式炉，其中所述过渡舱包括设置在所述过渡舱侧壁上的过渡舱进气口、过渡舱真空抽口、真空计接口、舱门和观察窗。

7.根据权利要求1所述的立式管式炉，其中还包括阀门，所述阀门可连通和关断所述过渡舱和所述工艺舱。

8.根据权利要求1所述的立式管式炉，其中所述导柱与所述过渡舱接触部分设置有密封圈。

9.一种利用权利要求1-8中任一项所述的立式管式炉生长石墨烯的方法，包括：

S1：将设置有生长衬底的挂架放置在所述过渡舱中；

S2：对所述工艺舱和所述过渡舱抽真空处理；

S3：通过所述移动装置将放置在所述过渡舱中的挂架送入所述工艺舱中；

S4：向所述工艺舱中通入工艺气体进行石墨烯膜生长；和

S5：通过所述移动装置将生长完成后的挂架移动到所述过渡舱中。