[发明专利]热载流子注入效应的寿命评估方法和系统在审
| 申请号： | 201711406758.5 | 申请日： | 2017-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN108051722A | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 何玉娟;章晓文 | 申请（专利权）人： | 中国电子产品可靠性与环境试验研究所 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 刘艳丽 |
| 地址： | 510610 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种热载流子注入效应的寿命评估方法和系统。所述方法包括：获取环形晶体管的漏极应力电压取值范围以及工艺常数；在所述漏极应力电压取值范围内选定两个以上不同的漏极应力电压，确定各漏极应力电压对应的栅极应力电压；根据漏极应力电压及其对应的栅极应力电压，得到对应的热载流子注入效应的应力电压条件；在各种应力电压条件下进行环形晶体管的热载流子退化实验，得到各种应力电压条件下的热载流子的加速系数；根据环形晶体管的工艺常数、两种以上应力电压条件下的热载流子的加速系数以及预设的漏电压模型，得到热载流子注入效应的寿命。极大的缩短退化速度，从而缩短热载流子注入效应的测试时间。 | ||
| 搜索关键词： | 载流子 注入 效应 寿命 评估 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种热载流子注入效应的寿命评估方法，其特征在于，包括：获取环形晶体管的漏极应力电压取值范围以及工艺常数；在所述漏极应力电压取值范围内选定两个以上不同的漏极应力电压，确定各漏极应力电压对应的栅极应力电压；根据漏极应力电压及其对应的栅极应力电压，得到对应的热载流子注入效应的应力电压条件；由此得到至少两种所述应力电压条件；在各种应力电压条件下进行环形晶体管的热载流子退化实验，得到各种应力电压条件下的热载流子的加速系数；根据环形晶体管的工艺常数、两种以上应力电压条件下的热载流子的加速系数以及预设的漏电压模型，得到热载流子注入效应的寿命。
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