[发明专利]用于操作显微镜的方法有效

专利信息
申请号: 201711399336.X 申请日: 2017-12-21
公开(公告)号: CN108231513B 公开(公告)日: 2022-03-01
发明(设计)人: S.坎德尔;T.A.卡斯;L.莱希纳 申请(专利权)人: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
主分类号: H01J37/26 分类号: H01J37/26;H01J37/28
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 王蕊瑞;邱军
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种用于操作显微镜的方法,该方法包括:记录样本的第一图像其中,该第一图像包含第一特征F1;记录该样本的第二图像其中,该第二图像包含被安排在距该第一特征一定距离处的第二特征F2;将该样本相对于该显微镜移位一定位移记录该样本的第三图像其中,该第三图像包含该第二特征;记录该样本的第四图像其中,该第四图像包含被安排在距该第二特征一定距离处的第三特征F3;并且基于该第一、第二、第三、以及第四图像来确定该第三特征相对于该第一特征的位置
搜索关键词: 用于 操作 显微镜 方法
【主权项】:
1.一种用于操作显微镜的方法,该方法包括:将样本相对于该显微镜移位第一位移在执行该第一位移之前使用该显微镜以第一高成像分辨率记录该样本的第一部分(P1)的第一图像其中,该第一图像包含与在该样本的该第一部分(P1)中所包含的第一样本特征(F1)相对应的第一图像特征(F1);在执行该第一位移之前使用该显微镜以第二高成像分辨率记录该样本的第二部分(P2)的第二图像其中,该第二图像包含与在该样本的该第二部分(P2)中所包含的第二样本特征相对应的第二图像特征(F2);并且其中,该第二样本特征(F2)被安排在距该第一样本特征(F1)一定距离处;在执行该第一位移之后使用该显微镜以第三高成像分辨率记录该样本的第三部分(P3)的第三图像其中,该第三图像包含与该第二样本特征(F2)相对应的该第二图像特征(F2);在执行该第一位移之后使用该显微镜以第四高成像分辨率记录该样本的第四部分(P4)的第四图像其中,该第四图像包含与在该样本的该第四部分(P4)中所包含的第三样本特征相对应的第三图像特征(F3),并且其中,该第三样本特征(F3)被安排在距该第二样本特征(F2)一定距离处;基于该第一、第二、第三、以及第四图像来确定该第三样本特征相对于该第一样本特征的位置
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