[发明专利]用于操作显微镜的方法有效
| 申请号: | 201711399336.X | 申请日: | 2017-12-21 |
| 公开(公告)号: | CN108231513B | 公开(公告)日: | 2022-03-01 |
| 发明(设计)人: | S.坎德尔;T.A.卡斯;L.莱希纳 | 申请(专利权)人: | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号: | H01J37/26 | 分类号: | H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 王蕊瑞;邱军 |
| 地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 操作 显微镜 方法 | ||
1.一种用于操作显微镜的方法,该方法包括:
将样本相对于该显微镜移位第一位移;
在执行该第一位移之前使用该显微镜以第一高成像分辨率记录该样本的第一部分的第一图像,其中,该第一图像包含与在该样本的该第一部分中所包含的第一样本特征相对应的第一图像特征;
在执行该第一位移之前使用该显微镜以第二高成像分辨率记录该样本的第二部分的第二图像,其中,该第二图像包含与在该样本的该第二部分中所包含的第二样本特征相对应的第二图像特征;并且其中,该第二样本特征被安排在距该第一样本特征一定距离处;
在执行该第一位移之后使用该显微镜以第三高成像分辨率记录该样本的第三部分的第三图像,其中,该第三图像包含与该第二样本特征相对应的该第二图像特征;
在执行该第一位移之后使用该显微镜以第四高成像分辨率记录该样本的第四部分的第四图像,其中,该第四图像包含与在该样本的该第四部分中所包含的第三样本特征相对应的第三图像特征,并且其中,该第三样本特征被安排在距该第二样本特征一定距离处;
基于该第一、第二、第三、以及第四图像来确定该第三样本特征相对于该第一样本特征的位置。
2.根据权利要求1所述的方法,进一步包括基于以下各项中的至少一项来确定该第一位移:该第三样本特征相对于该第一样本特征和该第二样本特征中的至少一个样本特征的评估位置、以及目标样本特征相对于该第一样本特征和该第二样本特征中的至少一个样本特征的评估位置。
3.根据权利要求1所述的方法,进一步包括
在执行该第一位移之前使用该显微镜以第一低成像分辨率记录该样本的第五部分的第五图像,
-其中,该第一低成像分辨率低于该第一、第二、第三、以及第四高成像分辨率中的每一者,
-其中,该样本的该第一和第二部分与该样本的该第五部分至少部分地重叠,并且
-其中,该第一和第二图像特征均被包含在该第五图像中。
4.根据权利要求3所述的方法,进一步包括:分析该第五图像、并且识别在该第五图像内的一个或多个图像特征候选项、并且选择该一个或多个图像特征候选项之一作为该第二图像特征。
5.根据权利要求4所述的方法,其中,该选择是基于目标样本特征相对于该第一样本特征和与该一个或多个图像特征候选项相对应的一个或多个样本特征中的至少一者的评估位置。
6.根据权利要求4或5所述的方法,进一步包括
在执行该第一位移之后使用该显微镜以第二低成像分辨率记录该样本的第六部分的第六图像,
-其中,该第二低成像分辨率低于该第一、第二、第三、以及第四高成像分辨率中的每一者,
-其中,该样本的该第二和第三部分与该样本的该第六部分至少部分地重叠,并且
-其中,该第二和第三图像特征均被包含在该第六图像中。
7.根据权利要求6所述的方法,进一步包括:分析该第六图像、并且识别在该第六图像内的一个或多个图像特征候选项、并且选择该一个或多个图像特征候选项之一作为该第三图像特征。
8.根据权利要求6所述的方法,其中,该选择是基于目标样本特征相对于该第二样本特征的评估位置的。
9.根据权利要求1至5之一所述的方法,其中,确定该第三样本特征相对于该第一样本特征的该位置包括:
确定在该第一图像内该第一图像特征的第一位置,
确定在该第二图像内该第二图像特征的第二位置,
确定在该第三图像内该第二图像特征的第三位置,并且
确定在该第四图像内该第三图像特征的第四位置。
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