[发明专利]具有升降功能的基板装载装置在审

专利信息
申请号: 201711395347.0 申请日: 2017-12-21
公开(公告)号: CN107884964A 公开(公告)日: 2018-04-06
发明(设计)人: 唐林宁 申请(专利权)人: 武汉华星光电技术有限公司
主分类号: G02F1/13 分类号: G02F1/13
代理公司: 深圳市铭粤知识产权代理有限公司44304 代理人: 孙伟峰
地址: 430070 湖北省武汉市*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种具有升降功能的基板装载装置,包括底框、多根升降轴和多个支撑架,所述多根升降轴均垂直固定于所述底框上,所述多个支撑架层叠设置且相邻的所述支撑架间隔,每个所述支撑架连接于所述多根升降轴上,所述多根升降轴用于带动每个所述支撑架沿着垂直于所述底框的方向上往复运动。本发明公开的一种具有升降功能的基板装载装置,通过设置多个升降轴和多层支撑架,升降轴控制支撑件的上升和下降,方便装载和取出基板时调节相邻支撑架之间的间距,使得装载装置的整体结构更加紧凑,减少了装载装置的空间占用。
搜索关键词: 具有 升降 功能 装载 装置
【主权项】:
一种具有升降功能的基板装载装置,其特征在于,包括底框(10)、多根升降轴(20)和多个支撑架(30),所述多根升降轴(20)均垂直固定于所述底框(10)上,所述多个支撑架(30)层叠设置且相邻的所述支撑架(30)间隔,每个所述支撑架(30)连接于所述多根升降轴(20)上,所述多根升降轴(20)用于带动每个所述支撑架(30)沿着垂直于所述底框(10)的方向上往复运动。
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