[发明专利]一种研磨抛光垫的修整器及其修整方法在审
申请号: | 201711394557.8 | 申请日: | 2017-12-21 |
公开(公告)号: | CN108098590A | 公开(公告)日: | 2018-06-01 |
发明(设计)人: | 张文杰;谢庆丰 | 申请(专利权)人: | 东莞华晶粉末冶金有限公司;广东劲胜智能集团股份有限公司 |
主分类号: | B24B53/12 | 分类号: | B24B53/12 |
代理公司: | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人: | 王震宇 |
地址: | 523843 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种研磨抛光垫的修整器和修整方法,该修整器包括至少一个修整轮,所述修整轮由驱动装置驱动旋转,通过所述修整轮的修整面对待修整的研磨抛光垫进行修整,所述修整轮的修整面上设置有至少一个金刚石修整区域和至少一个毛刷区域。本发明可以克服因脱落的金刚石颗粒残留于抛光垫的表面而造成产品表面的刮伤等问题,提高被修整产品的良率。 | ||
搜索关键词: | 修整 修整轮 研磨抛光垫 修整器 金刚石颗粒 金刚石 产品表面 驱动旋转 驱动装置 抛光垫 修整面 刮伤 良率 毛刷 残留 | ||
【主权项】:
1.一种研磨抛光垫的修整器,包括至少一个修整轮,所述修整轮由驱动装置驱动旋转,通过所述修整轮的修整面对待修整的研磨抛光垫进行修整,其特征在于,所述修整轮的修整面上设置有至少一个金刚石修整区域和至少一个毛刷区域。
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