[发明专利]一种研磨抛光垫的修整器及其修整方法

说明书

本发明公开了一种研磨抛光垫的修整器和修整方法，该修整器包括至少一个修整轮，所述修整轮由驱动装置驱动旋转，通过所述修整轮的修整面对待修整的研磨抛光垫进行修整，所述修整轮的修整面上设置有至少一个金刚石修整区域和至少一个毛刷区域。本发明可以克服因脱落的金刚石颗粒残留于抛光垫的表面而造成产品表面的刮伤等问题，提高被修整产品的良率。

技术领域

本发明涉及研磨抛光垫的加工领域，特别涉及一种研磨抛光垫的修整器及其修整方法。

背景技术

研磨抛光垫具有储存/运输抛光液、传递机械载荷、去除表面物质及维持抛光环境等功能。但随着研磨抛光加工的不断进行，研磨抛光垫表面产生残余物质，微孔的体积和数量减小，表面粗糙度降低。且表面发生分子重组现象，形成一定厚度的粙化层。从而导致抛光效率和抛光质量的降低。

为了消除以上现象，必须对抛光垫进行修整,以移除抛光垫表面的粙化层，改善抛光垫表面的粗糙度和储存浆料的能力。

目前传统的修整器主要是通过将金刚石丸片粘结于金属游星轮表面所形成。具有如下缺点：

1、单个金刚石丸片磨损后，无法进行单独更换。

2、金刚石丸片通过液体胶与金属游星轮表面的粘连，液体胶硬化后具有一定的厚度,故平面度较差。

3、对抛光垫进行修整时，其金刚石颗粒易脱落在抛光垫的表面，从而造成产品表面的刮伤。

发明内容

本发明的主要目的在于针对现有技术的不足，提供一种研磨抛光垫的修整器和修整方法，克服因脱落的金刚石颗粒残留于抛光垫的表面而造成产品表面的刮伤等问题，提高被修整产品的良率。

为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种研磨抛光垫的修整器，包括至少一个修整轮，所述修整轮由驱动装置驱动旋转，通过所述修整轮的修整面对待修整的研磨抛光垫进行修整，所述修整轮的修整面上分区域设置有至少一个金刚石修整区域和至少一个毛刷区域。

进一步地：

所述驱动装置包括内齿轮和外齿轮，所述至少一个修整轮为间隔分布在所述内齿轮和所述外齿轮之间的环形区域的多个游星轮，所述环形区域与待修整的研磨抛光垫的环形研磨面相对应，所述多个游星轮由所述内齿轮和所述外齿轮共同驱动。

包括至少三个所述游星轮。

所述金刚石修整区域和所述毛刷区域在所述修整面的环形区域内相间分布。

所述修整面包括均匀交替分布的两个所述金刚石修整区域和两个所述毛刷区域。

所述金刚石修整区域包括若干个固定有金刚石颗粒的金刚石丸片，所述毛刷区域包括若干个毛刷，所述金刚石丸片和所述毛刷以可拆卸的方式固定在所述修整面上，优选地，采用螺钉固定；优选地，金刚石颗粒焊接于不锈钢丸片上形成所述金刚石丸片。

所述金刚石丸片的直径为10-20mm、高度为5-15mm、每个丸片之间的距离为10～15mm。

所述毛刷包括刷体和刷丝，所述刷体的直径为5-20mm、高度为1-15mm，每个刷体之间的距离为10～15mm，所述刷丝的长度为1～15mm，所述刷丝的直径为0.3～0.5mm。

所述修整轮的上表面和下表面均具有所述修整面。

一种研磨抛光垫的修整方法，使用所述修整器对研磨抛光垫进行修整。

优选地，修整过程中以纯水作为介质，所述修整轮的转速为10～50RPM，所述修整轮对研磨抛光垫的压力为20～100kg力，一次修整的时间为5～20min。

本发明的有益效果：