[发明专利]一种改善长寿命钽靶材后期使用的腔体套件结构有效
| 申请号： | 201711392270.1 | 申请日： | 2017-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN108118300B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 胡彬彬 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种改善长寿命钽靶材后期使用的腔体套件结构，包括：溅射腔，其设置于溅射腔安装板上；钽靶，设置于所述溅射腔内部，并正对于晶圆表面；钽环，设置于所述溅射腔内部侧壁，其中所述溅射腔内部侧壁上设置有第一安装位置和第二安装位置，当晶圆和钽靶之间的距离发生变化时，将所述钽环从所述第一安装位置移动到第二安装位置。本发明提出的改善长寿命钽靶材后期使用的腔体套件结构，以补偿长寿命钽靶材后期靶材与晶圆的间距，晶圆与钽环的间距，以及钽环与靶材的间距，保持工艺稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改善 寿命 钽靶材 后期 使用 套件 结构 | ||
【主权项】：
一种提高监控图形监控精度的方法，其特征在于，包括下列步骤：1.一种改善长寿命钽靶材后期使用的腔体套件结构，其特征在于，包括：溅射腔，其设置于溅射腔安装板上；钽靶，设置于所述溅射腔内部，并正对于晶圆表面；钽环，设置于所述溅射腔内部侧壁，其中所述溅射腔内部侧壁上设置有第一安装位置和第二安装位置，当晶圆和钽靶之间的距离发生变化时，将所述钽环从所述第一安装位置移动到第二安装位置。
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