[发明专利]一种改善长寿命钽靶材后期使用的腔体套件结构有效
| 申请号： | 201711392270.1 | 申请日： | 2017-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN108118300B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 胡彬彬 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 改善 寿命 钽靶材 后期 使用 套件 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种改善长寿命钽靶材后期使用的腔体套件结构，其特征在于，包括：
溅射腔，其设置于溅射腔安装板上；
钽靶，设置于所述溅射腔内部，并正对于晶圆表面；
钽环，设置于所述溅射腔内部侧壁，其中所述溅射腔内部侧壁上设置有第一安装位置和第二安装位置，当晶圆和钽靶之间的距离发生变化时，将所述钽环从所述第一安装位置移动到第二安装位置。
2.根据权利要求1所述的改善长寿命钽靶材后期使用的腔体套件结构，其特征在于，所述溅射腔安装板上设置有陶瓷环，实现腔体密封。
3.根据权利要求1所述的改善长寿命钽靶材后期使用的腔体套件结构，其特征在于，所述钽靶为高纯溅射材料。
4.根据权利要求1所述的改善长寿命钽靶材后期使用的腔体套件结构，其特征在于，所述钽环设置有钽环射频偏压装置。
5.根据权利要求1所述的改善长寿命钽靶材后期使用的腔体套件结构，其特征在于，所述第一安装位置和第二安装位置之间的距离预先进行设定，其设定间距根据钽靶靶面的刻蚀后退距离决定。
6.根据权利要求1所述的改善长寿命钽靶材后期使用的腔体套件结构，其特征在于，所述第一安装位置和第二安装位置之间的设定间距为3～10毫米。
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