[发明专利]太阳能电池的制备方法和太阳能电池

摘要

本发明提供了一种太阳能电池的制备方法和太阳能电池，太阳能电池的制备方法包括：沉积二氧化硅减反射膜至太阳能电池的硅基体表面，沉积氮化硅减反射膜至二氧化硅减反射膜表面。二氧化硅与硅基体具有良好的相容性，从而改善现有技术中硅‑氮化硅直接接触造成的硅基体与减反射膜界面的晶格失配的状况，同时减少界面上载流子复合导致载流子损失的现象，有利于太阳能电池光电转换效率的提高；并且，二氧化硅减反射膜与硅基体表面的附着力，大于氮化硅减反射膜与硅基体表面的附着力，从而提高了太阳能电池的减反射膜的附着能力；太阳能电池的双层减反射膜形成多重减反射机制，增加硅机体对太阳光的吸收量，有利于太阳能电池光电转换效率的进一步提高。

主权项

1.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：沉积二氧化硅减反射膜至所述太阳能电池的硅基体表面；沉积氮化硅减反射膜至所述二氧化硅减反射膜表面。