[发明专利]测试台及其固定装置在审
| 申请号： | 201711384899.1 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN107942234A | 公开（公告）日： | 2018-04-20 |
| 发明（设计）人： | 余廷义 | 申请（专利权）人： | 深圳深爱半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/04 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 吴平 |
| 地址： | 518172 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出一种测试台及其固定装置，所述测试台包括用于放置呈片台的承托装置，所述固定装置包括移动装置；真空吸附装置，设于所述移动装置上；连接装置，分别与所述真空吸附装置、承托装置机械连接；真空管，与所述真空吸附装置机械连接，用于在真空管与外设真空源连通时，令所述真空吸附装置吸住所述移动装置，以固定所述承托装置，以及在真空管与外设真空源断开、并且与大气连通时，令所述真空吸附装置与所述移动装置分离，不去限制所述承托装置移动。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 及其 固定 装置 | ||
【主权项】：
一种测试台的固定装置，所述测试台包括用于放置呈片台的承托装置，其特征在于，所述固定装置包括：移动装置；真空吸附装置，设于所述移动装置上；连接装置，分别与所述真空吸附装置、承托装置机械连接；真空管，与所述真空吸附装置机械连接，用于在真空管与外设真空源连通时，令所述真空吸附装置与所述移动装置之间形成真空，以使所述真空吸附装置吸住所述移动装置，从而固定所述承托装置，以及在真空管与外设真空源断开、并且与大气连通时，令所述真空吸附装置与所述移动装置分离，从而不去限制所述承托装置移动。
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