[发明专利]蓝宝石单晶炉的晶体称重装置及称重方法

摘要

本发明公开了一种蓝宝石单晶炉的晶体称重装置，包括提升部件、称重部件、籽晶旋转部件；所述称重部件包括小量程传感器、大量程传感器；小量程传感器、大量程传感器设置在真空腔外，且背对背安装，传感器之间的连接为点接触，这样就不存在称重过程中支撑点高度不一致的情况。彻底的避免了传统机构中称重支点与称重负载盘间的球面配合的摩擦，提高了称重的重复性和可靠性。也使结构较传统机构简化。本发明还提供了一种称重方法。

主权项

1.一种蓝宝石单晶炉的晶体称重装置，其特征在于，包括提升部件、通过提升部件升降的称重部件及连接称重部件的籽晶旋转部件；所述称重部件包括连接与提升部件上的支撑件、位于支撑件上的称重平台座、自称重平台座延伸出的籽晶转轴安装座、位于称重平台座上的小量程传感器以及位于称重平台座上的大量程传感器；称重平台座包括承载于支撑件上的下座体、自下座体一端向上延伸的连接体及自连接体上端横向延伸并悬在下座体上的上座体；所述籽晶转轴安装座即自上座体的外端延伸出；大量程传感器安装在下座体上表面上，小量程传感器反向安装在上座体底面上，且小量程传感器位于大量程称重传感器上方，大量程称重传感器与小量程称重传感器背对背串联连接；且量程称重传感器与小量程称重传感器之间为点接触；所述籽晶旋转部件包括安装在籽晶转轴安装座上并向下延伸的波纹管、自与波纹管同轴向上延伸的籽晶转轴及驱动籽晶转轴和波纹管转动的驱动装置。