[发明专利]蓝宝石单晶炉的晶体称重装置及称重方法

权利要求书

1.一种蓝宝石单晶炉的晶体称重装置，其特征在于，包括提升部件、通过提升部件升降的称重部件及连接称重部件的籽晶旋转部件；

所述称重部件包括连接与提升部件上的支撑件、位于支撑件上的称重平台座、自称重平台座延伸出的籽晶转轴安装座、位于称重平台座上的小量程传感器以及位于称重平台座上的大量程传感器；称重平台座包括承载于支撑件上的下座体、自下座体一端向上延伸的连接体及自连接体上端横向延伸并悬在下座体上的上座体；所述籽晶转轴安装座即自上座体的外端延伸出；大量程传感器安装在下座体上表面上，小量程传感器反向安装在上座体底面上，且小量程传感器位于大量程称重传感器上方，大量程称重传感器与小量程称重传感器背对背串联连接；且量程称重传感器与小量程称重传感器之间为点接触；

所述籽晶旋转部件包括安装在籽晶转轴安装座上并向下延伸的波纹管、自与波纹管同轴向上延伸的籽晶转轴及驱动籽晶转轴和波纹管转动的驱动装置。

2.根据权利要求1所述的蓝宝石单晶炉的晶体称重装置，其特征在于：所述小量程传感器的上方设有小量程传感器限位过载保护装置。

3.根据权利要求1所述的蓝宝石单晶炉的晶体称重装置，其特征在于：所述籽晶旋转部件上还设有与波纹管上部连接的磁流体及位于磁流体上方的水冷座，所述水冷座上方承载籽晶转轴安装座。

4.根据权利要求3所述的蓝宝石单晶炉的晶体称重装置，其特征在于：所述提升部件为滚珠丝杠，且所述支撑件安装在滚珠丝杠的丝杆螺母上并倾斜向上延伸。

5.根据权利要求1蓝宝石单晶炉的晶体称重装置，其特征在于：称重平台座上配有燕尾槽，并通过转动手轮使籽晶转轴安装座相对于支撑件水平方向往复移动。

6.根据权利要求1蓝宝石单晶炉的晶体称重装置，其特征在于：所述驱动装置为步进电机，该步进电机的驱动轴用弹性联轴器与籽晶转轴相连。

7.使用根据权利要求1至6中任一项所述晶体称重装置的称重方法，其特征在于：设置一个称重阈值，当晶体重量小于等于该阈值时，小量程称重传感器的读数为测重值；当晶体重量大于该阈值时，大称重传感器的重量为测重值。

8.根据权利要求7所述的称重方法，其特征在于：当晶体重量小于等于该阈值时，大称重传感器的读数值作为校核使用；当晶体重量大于该阈值时，小称重传感器处于过载保护状态。

9.根据权利要求8所述的称重方法，其特征在于：所述阈值为50KG。