[发明专利]片盒自动运输设备及运输方法在审
| 申请号： | 201711367906.7 | 申请日： | 2017-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN109935543A | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 许琦欣;吴飞 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种片盒自动运输设备，包括：控制系统、导航装置、机械臂、抓手和机器视觉系统，所述控制系统控制所述导航装置按规划路径带动所述机械臂运行至目标位置，所述控制系统还根据所述机器视觉系统拍摄的片盒特征信息获取抓手至片盒上抓取点的距离，所述控制系统控制所述抓手移动所述距离以抓取片盒。本发明提供了一种片盒自动运输设备及运输方法，在片盒抓取过程中通过机器视觉系统拍摄片盒特征信息，还通过控制系统根据所述片盒特征信息获取抓手至片盒上抓取点的距离，并控制抓手移动所述距离以抓取片盒，避免了在抓取片盒过程中出现的定位偏差，提升了搬运效率。 | ||
| 搜索关键词： | 片盒 抓取 控制系统 机器视觉系统 自动运输设备 抓手 特征信息获取 导航装置 抓手移动 机械臂 定位偏差 规划路径 目标位置 特征信息 拍摄 运输 搬运 | ||
【主权项】：
1.一种片盒自动运输设备，其特征在于，包括：控制系统、导航装置、机械臂、抓手和机器视觉系统，所述控制系统控制所述导航装置按规划路径带动所述机械臂运行至目标位置，所述控制系统还根据所述机器视觉系统拍摄的片盒特征信息获取抓手至片盒上抓取点的距离，所述控制系统控制所述抓手移动所述距离以抓取片盒。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
