[发明专利]一种高硬度增透膜的成型方法在审
| 申请号： | 201711364205.8 | 申请日： | 2017-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN108169825A | 公开（公告）日： | 2018-06-15 |
| 发明（设计）人： | 吴卫锋;刘勇;熊正茂;唐响 | 申请（专利权）人： | 池州市正彩电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B1/115 | 分类号： | G02B1/115;G02B1/14 |
| 代理公司： | 合肥中博知信知识产权代理有限公司 34142 | 代理人： | 张加宽 |
| 地址： | 247000 安徽省池州*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学镜头镜片加工技术领域，具体涉及一种高硬度增透膜的成型方法，包括：(1)待镀光学玻璃表面清洗；(2)依次镀制第一层SiO2、第二层Al2O3、第三层ZrO2、第四层SiO2，在镀制的过程中不停的用离子源轰击待镀面；所述第一层SiO2的厚度为15.6～20nm；第二层Al2O3的厚度为110～150nm；第三层ZrO2的厚度为100～135nm；第四层SiO2的厚度为80～95nm；镀膜时的温度保持在130～150℃；本发明提供的增透膜的成型方法，通过在光学玻璃表面形成四层折射率不同的高硬度材料，同时，在膜层成型的过程中，结合离子源的辅助轰击及高温成膜环境，确保高增透效果的同时，有效提高该增透膜的膜层硬度，防止其在使用过程中造成玻璃镜片的划伤。 1 | ||
| 搜索关键词： | 增透膜 成型 光学玻璃表面 第三层 第一层 高硬度 离子源 镀制 轰击 高硬度材料 玻璃镜片 成膜环境 光学镜头 镜片加工 膜层硬度 温度保持 增透效果 折射率 镀膜 划伤 膜层 清洗 | ||
【主权项】：
1.一种高硬度增透膜的成型方法，其特征在于：包括以下步骤：
(1)对待镀光学玻璃表面进行清洗；
(2)依次向光学玻璃表面镀制第一层SiO2、第二层Al2O3、第三层ZrO2、第四层SiO2，在镀制的过程中不停的用离子源轰击待镀面，镀制完成即可得到所述的增透膜；
所述第一层SiO2的厚度为15.6～20nm；第二层Al2O3的厚度为110～150nm；第三层ZrO2的厚度为100～135nm；第四层SiO2的厚度为80～95nm；
镀膜时的温度保持在130～150℃。
2.根据权利要求1所述的高硬度增透膜的成型方法，其特征在于：所述的步骤(1)中，在真空镀膜设备中使用离子源轰击清洗待镀光学玻璃表面。3.根据权利要求1所述的高硬度增透膜的成型方法，其特征在于：所述的步骤(2)后，在增透膜的表面加镀一层防指纹膜层。
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