[发明专利]一种高硬度增透膜的成型方法

说明书

本发明涉及光学镜头镜片加工技术领域，具体涉及一种高硬度增透膜的成型方法，包括：(1)待镀光学玻璃表面清洗；(2)依次镀制第一层SiO₂、第二层Al₂O₃、第三层ZrO₂、第四层SiO₂，在镀制的过程中不停的用离子源轰击待镀面；所述第一层SiO₂的厚度为15.6～20nm；第二层Al₂O₃的厚度为110～150nm；第三层ZrO₂的厚度为100～135nm；第四层SiO₂的厚度为80～95nm；镀膜时的温度保持在130～150℃；本发明提供的增透膜的成型方法，通过在光学玻璃表面形成四层折射率不同的高硬度材料，同时，在膜层成型的过程中，结合离子源的辅助轰击及高温成膜环境，确保高增透效果的同时，有效提高该增透膜的膜层硬度，防止其在使用过程中造成玻璃镜片的划伤。

技术领域

本发明涉及光学镜头镜片加工技术领域，具体涉及一种高硬度增透膜的成型方法。

背景技术

在众多的光学系统中，一个相当重要的组成部分是镜片上能降低反射的镀膜。在很多应用领域中，增透膜是不可缺少的，否则，无法达到应用的要求。就拿一个由18块透镜组成的35mm的自动变焦的照相机来说，假定每个玻璃和空气的界面有4％的反射，没有增透的镜头光透光率为27％，镀有一层膜(剩余的反射为1.3％)的镜头光透过率为66％，镀多层膜(剩余的反射为0.5％)的为85％。

经典的单层增透膜是由一薄层MgF₂构成，MgF₂在510nm时的折射率为1.38，需要的膜厚为92nm，因此，在510nm波长时膜层有一个光学密度(厚度)n*d为1/4的波长，镀在加热到250～300℃的玻璃基底上的MgF2，不但牢固、稳定，并且相当方便，经济；想得到更低的反射率，最简单的方法是镀一层CeF₃和一层MgF₂(各为1/4的光学厚度)，但是这样的镀膜结构在红、蓝端的反射率仍有上升过快的缺点；为了达到更理想的低反射效果，必须使用三层或多层镀膜结构，经典的三层膜由一层1/4光学厚度的中折射率物质，一层1/2光学厚度的高折射率物质和一层1/4光学厚度的低折射率物质组成，最常用的是Al₂O₃，ZrO₂和MgF₂，如此，在整个光学敏感段(410～680nm)的反射率低于0.5％。

常规的光学玻璃，在750g负重下其表面硬度可达到7H，即便是质量较差的玻璃，其表面硬度也有6H，而常规的镜头表面增透膜较薄，增透膜硬度较差，成膜后的镜头表面硬度低于原玻璃硬度，使用过程中极易造成镜头表面的划伤，严重影响手机的成像功能。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种高硬度增透膜的成型方法，在确保光学镜头增透效果的同时，提高光学镜头的表面硬度。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案予以实现：

一种高硬度增透膜的成型方法，包括以下步骤：

(1)对待镀光学玻璃表面进行清洗；

(2)依次向光学玻璃表面镀制第一层SiO₂、第二层Al₂O₃、第三层ZrO₂、第四层SiO₂，在镀制的过程中不停的用离子源轰击待镀面，镀制完成即可得到所述的增透膜；

所述第一层SiO₂的厚度为15.6～20nm；第二层Al₂O₃的厚度为110～150nm；第三层ZrO₂的厚度为100～135nm；第四层SiO₂的厚度为80～95nm；

镀膜时的温度保持在130～150℃。