[发明专利]石墨烯薄膜转移同时图案化的方法在审
| 申请号： | 201711347751.0 | 申请日： | 2017-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN109932867A | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 张锋;刘海滨;谭化兵 | 申请（专利权）人： | 无锡格菲电子薄膜科技有限公司;无锡第六元素电子薄膜科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京世衡知识产权代理事务所(普通合伙) 11686 | 代理人： | 肖淑芳;郝文博 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市惠山经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种石墨烯薄膜转移同时图案化的方法，包括：取石墨烯膜，包括支撑膜、及设置在支撑膜表面的单层或两层以上堆叠的石墨烯；利用微纳结构模板处理石墨烯，得到支撑膜/图案化的石墨烯的复合结构；在支撑膜/图案化的石墨烯的石墨烯一面贴合目标基底，得到支撑膜/图案化的石墨烯/目标基底；和去除支撑膜，得到图案化的石墨烯/目标基底。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨烯 图案化 支撑膜 目标基 石墨烯薄膜 复合结构 模板处理 石墨烯膜 微纳结构 单层 堆叠 两层 去除 贴合 | ||
【主权项】：
1.一种石墨烯薄膜转移同时图案化的方法，包括：取石墨烯膜，包括支撑膜、及设置在支撑膜表面的单层或两层以上堆叠的石墨烯；利用微纳结构模板处理所述石墨烯，得到支撑膜/图案化的石墨烯的复合结构；在支撑膜/图案化的石墨烯的石墨烯一面贴合目标基底，得到支撑膜/图案化的石墨烯/目标基底；和去除支撑膜，得到图案化的石墨烯/目标基底。
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