[发明专利]基于激光照射不同材料对表面微结构成型影响的研究方法在审
| 申请号： | 201711339146.9 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN108318485A | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 张俐楠;郭子望;吴立群;王洪成;程从秀 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;B82Y35/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 杭州千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人： | 周希良 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 基于激光照射不同材料对表面微结构成型影响的研究方法，其按如下步骤：步骤一：利用飞秒激光照射硅基板，硅基板形成表面凸起；步骤二：基于相场模型理论，构建数学模型，对硅基板凸起成型实验进行仿真分析；步骤三：选取导热系数不同的其他材料基板，重复步骤一及步骤二，获得不同材料基板凸起成型的规律。本发明利用飞秒激光照射硅基板产生表面凸起，并使用三维数值模型，即相场法去模拟和预测激光成型硅基表面形态，进而提出一种发明思路，飞秒激光照射其它材料形成的凸起是否符合相同的成型规律。 | ||
| 搜索关键词： | 硅基板 飞秒激光 凸起 成型 照射 表面微结构 表面凸起 激光照射 三维数值模型 模拟和预测 材料基板 材料形成 成型规律 成型实验 导热系数 仿真分析 硅基表面 激光成型 模型理论 其他材料 数学模型 场法 构建 基板 研究 重复 | ||
【主权项】：
1.基于激光照射不同材料对表面微结构成型影响的研究方法，其特征在于如下步骤：步骤一：利用飞秒激光照射硅基板，硅基板形成表面凸起；步骤二：基于相场模型理论，构建数学模型，对硅基板凸起成型实验进行仿真分析；步骤三：选取导热系数不同的其他材料基板，重复步骤一及步骤二，获得不同材料基板凸起成型的规律。
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