[发明专利]一种用于浸没式光刻机的两级气液分离回收装置

摘要

本发明涉及一种用于浸没式光刻机的两级气液分离回收装置。本发明包括气液分离器、气液分离罐、液体流量控制器、气体和液体分离前的两相流回路、气体和液体分离后的排气回路、气体和液体分离后的排水回路；气液分离器与气体和液体分离前的两相流回路、气液分离罐上部入口相连，气液分离罐与气体和液体分离后的排气回路、液体流量控制器的入口相连，液体流量控制器、气液分离器合与气体和液体分离后的排水回路相连。本发明能够在负压抽吸的作用下对气液两相流实现连续的分离过程，并且较之前的解决方案在分离回收的效率和效果上均有明显的提升。同时避免了对系统负压造成的干扰，且能在故障条件下将系统内的气体和液体排出及时泄压。

主权项

一种用于浸没式光刻机的两级气液分离回收装置，包括气液分离器(11)、气液分离罐(14)、液体流量控制器(12)、气体和液体分离前的两相流回路、气体和液体分离后的排气回路、气体和液体分离后的排水回路；其特征在于：所述的气液分离器(11)的上部入口与气体和液体分离前的两相流回路相连，气液分离器(11)的上部出口和气液分离罐(14)上部入口相连，气液分离罐(14)上部出口与气体和液体分离后的排气回路相连，气液分离罐(14)下部出口与液体流量控制器(12)的入口相连，液体流量控制器(12)的出口与气液分离器(11)的下部出口合并成一路后与气体和液体分离后的排水回路相连；所述的气体和液体分离前的两相流回路，包括第一电磁开关阀(8)、科式流量计(9)和第一压力变送器(10)；气液混合物的入口(7)依次与电磁开关阀(8)、科式流量计(9)和第一压力变送器(10)相连，第一压力变送器(10)出口与气液分离器(11)的上部入口相连，气液混合物的入口(7)与浸没单元的出口相连；所述的气体和液体分离后的排气回路，包括第二压力变送器(15)、水分离器(16)、真空过滤器(17)、第一手动阀(18)、湿度计(19)、第二电磁开关阀(20)、气体流量计(21)、压力控制器(22)、真空溢流阀(23)和真空泵(24)；第二压力变送器(15)的入口与气液分离罐(14)的上部出口相连，压力变送器(15)的出口依次经水分离器(16)、真空过滤器(17)、湿度计(19)、第二电磁开关阀(20)、气体流量计(21)、压力控制器(22)和真空泵(24)的入口相连；在第二压力变送器(15)的出口和水分离器(16)的入口之间连接有第一手动阀(18)进口旁路，第一手动阀(18)出口旁路与真空泵(24)的出口连接，连接处设置有第一气体卸载口(25)，第一手动阀(18)一出口为第二气体卸载口(27)；在压力控制器(22)的出口和真空泵(24)的入口之间连接有真空溢流阀(23)旁路，真空溢流阀(23)有第三气体卸载口(32)；气体和液体分离后的排水回路，包括液体流量计(26)、单向阀(28)、水泵(31)和第二手动阀(30)；液体流量控制器(12)的出口与气液分离器(11)的下部出口连接合并成一路之后，再分成两路，一路与液体流量计(26)的入口相连后，经单向阀(28)和水泵(31)的入口相连；另一路与第二手动阀(30)进口相连，第二手动阀(30)的出口与水泵(31)的出口连接，连接处设置有第二液体卸载口(33)，第二手动阀(30)另一出口为第一液体体卸载口(29)。