[发明专利]一种用于浸没式光刻机的两级气液分离回收装置

权利要求书

1.一种用于浸没式光刻机的两级气液分离回收装置，包括气液分离器(11)、气液分离罐(14)、液体流量控制器(12)、气体和液体分离前的两相流回路、气体和液体分离后的排气回路、气体和液体分离后的排水回路；其特征在于：

所述的气液分离器(11)的上部入口与气体和液体分离前的两相流回路相连，气液分离器(11)的上部出口和气液分离罐(14)上部入口相连，气液分离罐(14)上部出口与气体和液体分离后的排气回路相连，气液分离罐(14)下部出口与液体流量控制器(12)的入口相连，液体流量控制器(12)的出口与气液分离器(11)的下部出口合并成一路后与气体和液体分离后的排水回路相连；

所述的气体和液体分离前的两相流回路，包括第一电磁开关阀(8)、科式流量计(9)和第一压力变送器(10)；气液混合物的入口(7)依次与电磁开关阀(8)、科式流量计(9)和第一压力变送器(10)相连，第一压力变送器(10)出口与气液分离器(11)的上部入口相连，气液混合物的入口(7)与浸没单元的出口相连；

所述的气体和液体分离后的排气回路，包括第二压力变送器(15)、水分离器(16)、真空过滤器(17)、第一手动阀(18)、湿度计(19)、第二电磁开关阀(20)、气体流量计(21)、压力控制器(22)、真空溢流阀(23)和真空泵(24)；第二压力变送器(15)的入口与气液分离罐(14)的上部出口相连，压力变送器(15)的出口依次经水分离器(16)、真空过滤器(17)、湿度计(19)、第二电磁开关阀(20)、气体流量计(21)、压力控制器(22)和真空泵(24)的入口相连；在第二压力变送器(15)的出口和水分离器(16)的入口之间连接有第一手动阀(18)进口旁路，第一手动阀(18)出口旁路与真空泵(24)的出口连接，连接处设置有第一气体卸载口(25)，第一手动阀(18)一出口为第二气体卸载口(27)；在压力控制器(22)的出口和真空泵(24)的入口之间连接有真空溢流阀(23)旁路，真空溢流阀(23)有第三气体卸载口(32)；

气体和液体分离后的排水回路，包括液体流量计(26)、单向阀(28)、水泵(31)和第二手动阀(30)；液体流量控制器(12)的出口与气液分离器(11)的下部出口连接合并成一路之后，再分成两路，一路与液体流量计(26)的入口相连后，经单向阀(28)和水泵(31)的入口相连；另一路与第二手动阀(30)进口相连，第二手动阀(30)的出口与水泵(31)的出口连接，连接处设置有第二液体卸载口(33)，第二手动阀(30)另一出口为第一液体体卸载口(29)。

2.如权利要求1所述的一种用于浸没式光刻机的两级气液分离回收装置，其特征在于：所述的气液分离器(11)选用离心分离的分离器。

3.如权利要求1所述的一种用于浸没式光刻机的两级气液分离回收装置，其特征在于：所述的气液分离罐(14)上装有监测液位变化的液位计(13)。

4.如权利要求1所述的一种用于浸没式光刻机的两级气液分离回收装置，其特征在于：所述的水泵(31)选用具有自吸功能的水泵。

5.如权利要求1所述的一种用于浸没式光刻机的两级气液分离回收装置，其特征在于：所述的第一压力变送器(10)和第二压力变送器(15)均为电容型压力变送器。