[发明专利]板级材料异形加工方法在审
| 申请号： | 201711330381.X | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN108067751A | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 姜峰 | 申请（专利权）人： | 无锡吉迈微电子有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/402;C03C15/00;C04B41/80 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人： | 曹祖良;屠志力 |
| 地址： | 214116 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种板级材料异形加工方法，包括以下步骤：步骤S1，采用脉冲宽度范围在飞秒至皮秒的激光器产生激光束；步骤S2，激光束经过聚焦处理后从待切割的板级材料的第一表面入射至第二表面；步骤S3，激光束焦点在板级材料的垂直于入射表面方向，自上而下形成由多个微裂点形成的垂直切割柱；步骤S4，激光束与板级材料按需要切割路线做相对移动；在激光束经过的需要切割路线形成多个所述垂直切割柱；步骤S5，通过湿法刻蚀沿着需要切割路线将板级材料分离。进一步地，所述板级材料为透明或半透明材料。本发明可解决切割过程中板级材料容易产生崩边、微裂纹以及分层等损伤问题。 | ||
| 搜索关键词： | 板级 激光束 切割路线 垂直切割 异形加工 半透明材料 激光束焦点 材料分离 第二表面 第一表面 切割过程 入射表面 湿法刻蚀 相对移动 激光器 微裂纹 脉冲 崩边 分层 入射 种板 切割 垂直 聚焦 损伤 透明 | ||
【主权项】：
1.一种板级材料异形加工方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1，采用激光器(2)产生激光束(3)；步骤S2，激光束(3)经过聚焦处理后从待切割的板级材料(1)的第一表面入射至第二表面；步骤S3，激光束焦点在板级材料的垂直于入射表面方向，形成由多个微裂点(41)形成的垂直切割柱(4)；步骤S4，激光束(3)与板级材料(1)按需要切割路线做相对移动；在激光束经过的需要切割路线形成多个所述垂直切割柱(4)；步骤S5，通过湿法刻蚀沿着需要切割路线将板级材料(1)分离。
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