[发明专利]一种改善性能的DLC膜制备方法在审
| 申请号： | 201711330311.4 | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN109913817A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 凌云;黄乐;陈立;祝海生;黄夏;孙桂红;黄国兴 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/58;B05D7/24;C09D183/04;C09D161/20 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 安曼 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种改善性能的DLC膜制备方法，所述方法包括如下几个步骤：喷涂或旋涂散热层，真空蒸镀DLC膜和功能膜，蒸镀完成后进行退火烧结。本发明采用散热层代替原有的桥接层，不仅压缩了整个膜系的厚度，并且大大改善了原有膜系结构散热不好的问题，制备方法根据现有的膜系进行改良，将制备工艺进行压缩，使得本方法在连续镀膜后再进行固化反应，缩短了镀膜时间，膜层间连接更加紧密，使得在膜层层数不减少的情况下，整个膜系的厚度减少。 | ||
| 搜索关键词： | 膜系 制备 改善性能 散热层 退火 固化反应 厚度减少 连续镀膜 膜系结构 真空蒸镀 制备工艺 压缩 烧结 功能膜 桥接层 原有的 散热 喷涂 镀膜 膜层 旋涂 蒸镀 改良 | ||
【主权项】：
1.一种改善性能的DLC膜制备方法，其特征在于，所述方法包括如下几个步骤：喷涂或旋涂散热层，真空蒸镀DLC膜和功能膜，蒸镀完成后进行退火烧结。
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