[发明专利]一种改善性能的DLC膜制备方法在审
申请号: | 201711330311.4 | 申请日: | 2017-12-13 |
公开(公告)号: | CN109913817A | 公开(公告)日: | 2019-06-21 |
发明(设计)人: | 凌云;黄乐;陈立;祝海生;黄夏;孙桂红;黄国兴 | 申请(专利权)人: | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/58;B05D7/24;C09D183/04;C09D161/20 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 安曼 |
地址: | 411100 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 膜系 制备 改善性能 散热层 退火 固化反应 厚度减少 连续镀膜 膜系结构 真空蒸镀 制备工艺 压缩 烧结 功能膜 桥接层 原有的 散热 喷涂 镀膜 膜层 旋涂 蒸镀 改良 | ||
本发明公开了一种改善性能的DLC膜制备方法,所述方法包括如下几个步骤:喷涂或旋涂散热层,真空蒸镀DLC膜和功能膜,蒸镀完成后进行退火烧结。本发明采用散热层代替原有的桥接层,不仅压缩了整个膜系的厚度,并且大大改善了原有膜系结构散热不好的问题,制备方法根据现有的膜系进行改良,将制备工艺进行压缩,使得本方法在连续镀膜后再进行固化反应,缩短了镀膜时间,膜层间连接更加紧密,使得在膜层层数不减少的情况下,整个膜系的厚度减少。
技术领域
本发明涉及一种改善性能的DLC膜制备方法,属于化学镀膜领域。
背景技术
类金刚石镀膜(Diamond-likecarbon)是一种由碳元素构成、在性质上和钻石类似,同时又具有石墨原子组成结构的物质。类金刚石薄膜(DLC)是一种非晶态薄膜,由于具有高硬度和高弹性模量,低摩擦因数,耐磨损以及良好的真空摩擦学特性,很适合于作为耐磨涂层,从而引起了摩擦学界的重视。目前制备DLC薄膜的方法很多,不同的制备方法所用的碳源以及到达基体表面的离子能量不同,沉积的DLC膜的结构和性能存在很大差别,摩擦学性能也不相同。
类金刚石膜具有很好的延展性,可以与多种膜系组合使用,如抗反射膜、防指纹膜等,以满足现有的不同显示屏盖板的需求,但多种膜系组合,为了膜系的组合效果更好,需要在不同的膜系之间添加桥接层,这样势必会导致DLC膜系的厚度增加,进而导致散热性下降,影响屏幕盖板的使用体验,且容易发生损坏。
发明内容
针对现有技术存在的上述问题,本发明的目的是获得一种改善性能的DLC膜制备方法。
为实现上述发明目的,本发明采用的改善性能的DLC膜的技术方案如下:
本发明的目的在于提供一种上述改善性能的DLC膜的制备方法,所述方法具体如下:
按照DLC膜层的结构设计镀膜方法,所述方法包括如下几个步骤:喷涂或旋涂散热层,真空蒸镀DLC膜和功能膜,蒸镀完成后进行退火烧结。
采用本发明中的改善性能的DLC膜的制备方法制备的膜系结构依次包括:基板、DLC膜和功能层,其中基板与DLC膜之间,DLC膜与功能层之间,至少设有一层散热层。
优选地,所述散热层为改性石墨烯散热层,散热层包括石墨烯和树脂,树脂包括散热硅胶和氨基树脂两种。
更优选地,石墨烯表面羟基化,与氨基树脂反应后连接,加入散热硅胶后固化形成散热层。
更优选地,石墨烯表面经强碱或乙醇羟基化。
优选地,基板包括柔性基板和玻璃基板。
优选地,基板为高分子柔性基板。
优选地,功能层包括抗反射膜和/或防指纹膜。
与现有技术相比,本发明采用散热层代替原有的桥接层,不仅压缩了整个膜系的厚度,并且大大改善了原有膜系结构散热不好的问题,制备方法根据现有的膜系进行改良,将制备工艺进行压缩,使得本方法在连续镀膜后再进行固化反应,缩短了镀膜时间,膜层间连接更加紧密,使得在膜层层数不减少的情况下,整个膜系的厚度减少。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明提供的改善性能的DLC膜及其制备方法作进一步详细、完整地说明。下面描述的实施例是示例性的,仅用于解释本发明,而不能理解为对本发明的限制。
下述实施例中的实验方法,如无特殊说明,均为常规方法。下述实施例中所用的实验材料如无特殊说明,均为市场购买得到。
本发明中的改善性能的DLC膜的膜系结构依次包括:基板、DLC膜和功能层,其中基板与DLC膜之间,DLC膜与功能层之间,至少设有一层散热层。所述散热层为改性石墨烯散热层,散热层包括石墨烯和树脂,树脂包括散热硅胶和氨基树脂两种。
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