[发明专利]开关元件、及形成和使用开关元件的方法在审

专利信息
申请号: 201711323785.6 申请日: 2017-12-13
公开(公告)号: CN108110022A 公开(公告)日: 2018-06-01
发明(设计)人: 王月;金子贵昭;黄晓橹 申请(专利权)人: 德淮半导体有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 田菁
地址: 223300 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 本公开涉及一种开关元件,包括:金属区,所述金属区包括由金属形成的第一部分和由所述金属形成的第二部分;以及氧化区,所述氧化区由所述金属的氧化物形成,所述氧化区被构造为将所述第一部分和所述第二部分电隔离。本公开涉及一种形成开关元件的方法和使用开关元件的方法。本公开能够减小FEOL中用于形成有源元件的面积,从而使得图像传感器中用于像素单元的面积增大。
搜索关键词: 开关元件 氧化区 金属形成 金属区 图像传感器 面积增大 像素单元 电隔离 源元件 氧化物 减小 金属
【主权项】:
1.一种开关元件,其特征在于,包括:金属区,所述金属区包括由金属形成的第一部分和由所述金属形成的第二部分;以及氧化区,所述氧化区由所述金属的氧化物形成,所述氧化区被构造为将所述第一部分和所述第二部分电隔离。
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